上 海 晶 合 光 电 科 技 有 限 公 司 文件名称 无尘车间尘埃粒子检测标准操作规程 JH-GL-GC-056 文件编号 版本 编制 B/0 工程部 审核 批准 孟全 黄剑 1. 目的
为了规范洁净室(区)中悬浮粒子的测试方法,用以规范员工的检测操作。
2. 范围
适用于适用于公司内部生产无尘车间尘埃粒子检测工作
3. 术语
无。
4. 职责
4.1工程部门:负责规范无尘车间尘埃粒子的检测方法,并进行技术协助、指导。 4.2品质部门:负责监督、确认无尘车间尘埃粒子的工作实施。
4.3生产部门:负责执行车间尘埃粒子的测试与车间洁净度维护,并将异常情况反馈至各职能部门。
5.内容:
5.1仪器:光散射粒子计数器和滤膜显微镜。 5.2 测定标准
悬浮粒子最大允许数/立方米(a) 洁净度 静态(b) 级别 ≥0.5μm(d) 100级 10000级 100000级 300000级 3500 3500 350000 3500000 ≥5μm 1 1 2000 20000 ≥0.51μm(d) 3500 350000 3500000 不作规定 ≥5μm 1 2000 20000 不作规定 一次/季度 一次/季度 一次/季度 动态(b) 频次 5.3 测试方法:
5.3.1 仪器开机,预热至稳定后,方可按说明书的规定对仪器进行校正。 5.3.2 采样管口置采样点采样时,在确认计数稳定后方可开始连续读数。 5.3.3 采样管必须干净、严禁渗漏。
5.3.4 采样管的长度应根据仪器的允许长度,除另有规定外,长度不大于1.5m。 5.3.5 计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下,以免产生测量误差。 5.3.6 必须按照仪器的检定周期,定期对仪器作检定,以保证测试数据的可靠性。
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上 海 晶 合 光 电 科 技 有 限 公 司 文件名称 无尘车间尘埃粒子检测标准操作规程 JH-GL-GC-056 文件编号 版本 编制 B/0 工程部 审核 批准 孟全 黄剑 5.4 测试规则:
5.4.1 测试条件
5.4.1.1 温度和湿度:洁净室的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应,温度控制在22~28℃,相对湿度控制在30~70%之间为宜。
5.4.1.2 压差:空气洁净度不同的洁净室(区)之间的压差应≥5Pa,空气洁净度级别要求等高的洁净室(区)对相邻的空气洁净度级别低的洁净室(区)一般要求呈相对正压。 5.4.2 测试状态:有静态测试和动态测试。
5.4.2.1 静态测试时室内空调系统已处于正常运行状态,测试人员不得多于2人。尘埃粒子数必须符合规定。
5.4.2.2 动态测试时已处于正常生产状态,所产生粒子不影响最终产品的作业,可允许超出标准,但当操作完成10分钟后,粒子水平必须恢复到以洁净区尘粒最大允许数范围之内,应定期监控动态条件下的洁净状况。
5.4.2.3 测试报告中应标明测试时所采用的状态。
5.4.3 测试时间:对单向流,测试应在净化空调系统正常运行时间不少于30分钟后开始。 5.4.4 悬浮粒子计数 5.4.4.1 采样点数目及其布置
5.4.4.1.1 采样点数目及其布置应根据产品的生产及工艺关键操作区设置。 5.4.4.1.2 采样点布置要求均匀,避免采样点在某局部区域过于稀疏。 5.4.4.1.3 采样点一般在工作台面上0.2m高度的平面上均匀布置。
5.4.4.2 采样点的限定:对于任何小洁净室或局部空气净化区域,采样点的数目不得少于2个,总采样次数不得少于5次。每个采样点采样次数可以多于1次,但不同采样点的采样次数可以不同。
最少采样点数目
面积m <10 ≥10<20 ≥20<40 ≥40<100 ≥100<200 ≥200<400 ≥400<1000 ≥1000<2000 2000 2洁净度级别 100 2~3 4 8 16 40 80 160 400 800 10000 2 2 2 4 10 20 40 100 200 100000 2 2 2 2 3 6 13 32 63 注:表中的面积,对于单向流洁净室,是指送风面积,对于非单向流洁净室,是指房间面积。 页码:第 2 页 共 4 页
上 海 晶 合 光 电 科 技 有 限 公 司 文件名称 无尘车间尘埃粒子检测标准操作规程 JH-GL-GC-056 文件编号 版本 编制 B/0 工程部 审核 批准 孟全 黄剑 5.4.4.3 采样量:
最小采样量
洁净度级别 100 10000 100000 300000 5.4.4.4 采样注意事项
5.4.4.4.1 在确认洁净室(区)送风和压差达到要求后,方可进行采样。
5.4.4.4.2 对于单向流,计数器采样管口朝向应正对气流方向,对于非单向流,采样口宜向上。 5.4.4.4.3 布置采样点时,应避开回风口。
5.4.4.4.4 采样时,测试人员应在采样口的下风侧。
5.4.4.4.5 悬浮粒子浓度的采样数据应按下述步骤作统计计算。 5.5 结果计算:
C1+C2+------+CN 5.5.1 采样点的平均粒子浓度A= ———————————— N 式中:
A--某一采样点的平均粒子浓度,粒/m3;
Ci--某一采样点的粒子浓度(i=1,2,---,N),粒/m3; N--某一采样点上的采样次数,次。
A1+A2+---+AL 5.5.2 平均值的均值M= ———————————— L 式中
M——平均值的均值,即洁净室(区)的平均粒子浓度,粒/m3; Ai——某一采样点的平均粒子浓度(i=1,2,---,L),粒/m3; L——某一洁净室(区)内的总采样点数,个。 5.5.3 标准误差 SE= 式中
SE——平均值的标准误差,粒/m3。
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采样量,升/次 ≥0.5μm 5.66 2.83 2.83 ≥5μm _ 8.5 8.5 上 海 晶 合 光 电 科 技 有 限 公 司 文件名称 无尘车间尘埃粒子检测标准操作规程 JH-GL-GC-056 文件编号 版本 编制 B/0 工程部 审核 批准 孟全 黄剑 5.5.4 置信上限 UCL=M+t×SE
式中:UCL ——平均值均值的95%置信上限,粒/m3; t ——95%置信上限的t分布系数。 95%置信上限的t分布系数
采样数L t
注:当采样点多于9点时,不需要计算UCL。
5.6 结果评定:判断悬浮粒子洁净度级别应依据下述二个条件。
5.6.1 每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限,即Ai≤级别界限。 5.6.2 全部采样点的粒子浓度平均值的均值的95%置信上限必须低于或等于规定的级别界限,即UCL≤级别界限。
5.7 当连续三次样品测试结果超过警戒指标,或单位样品的结果特别高时,应着手采取措施。 5.8 将测试结果记录于《无尘车间悬浮粒子测试记录表》,内容包括:部门、测试状态、测试时间、标准、测试结果、结果计算、结果评定等所有记录。
2 3 4 5 6 7 8 9 >9 - 6.31 2.92 2.35 2.13 2.02 1.94 1.90 1.86
6. 相关文件与记录
6.1 《文件控制程序》 JH-QP-7.5-01
6.2 《无尘车间悬浮粒子测试记录表》 JHR-8.5-137
7. 修改栏
序号 页 码 修 改 内 容 修改日期 实施日期 批 准
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