涤纶非织造布表面沉积ITO纳米薄膜的微观结构分析

涤纶非织造布表面沉积ITO纳米薄膜的微观结构分析

汪莹莹;魏取福;李琪;王静

【期刊名称】《材料导报》 【年(卷),期】2007(021)F05

【摘要】采用低温磁控溅射技术在涤纶纺粘非织造布表面沉积ITO（Indium Tin Oxide，铟锡氧化物）薄膜，利用原子力显微镜（AFM）观察ITO纳米薄膜在纤维表面沉积的微观结构，并较为系统地分析了溅射时间、溅射功率、氧气流量、气体压力以及基底温度对ITO透明导电薄膜微结构的影响。得到以下结论：沉积时间的长短、工作气体压力的大小对成膜的均匀性有很大影响；较高的射频溅射功率将导致纳米颗粒因团聚而增大；而氧气流量的大小则影响着颗粒结晶程度的好坏和晶粒尺寸的大小；基底温度升高则会导致颗粒产生热迁移现象。

【总页数】3页(P.72-74)

【关键词】ITO薄膜;涤纶衬底;磁控溅射;工艺参数;AFM 【作者】汪莹莹;魏取福;李琪;王静

【作者单位】江南大学生态纺织教育部重点实验室,无锡214122 【正文语种】英文 【中图分类】TB34 【相关文献】

1.涤纶非织造布表面沉积ITO纳米薄膜的微观结构分析 [J], 汪莹莹; 魏取福; 李琪; 王静

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