(管理制度)ESD管理办
法
3.1.3静电产生过程:在工业生产中常见的静电产生物理过程包
括:
3.1.3.1固体静电产生包含:接触带电.金性属与高分固体的接
触带
及断裂.压电效应.热电效应.剥离.电解等)。
3.1.3.2粉体起电。 3.1.3.3液体起电。
3.1.4静电现象:是电荷的产生和消失的过程中产生的静电现象
的总称。
3.1.5静电之优缺点:静电具有双重性,即能为人类造福.即为利
用静电应用技术制造出静电复印.静电涂敷.静电除尘等,但是.在电子工业制造中也存在静电危害,现正在日益表露出来并逐渐受人们所重视.其在电子工业领域的静电危害形式如下:
静电吸附
静电放电引起的器件击穿(硬击穿.软击穿) 静电感应.
静电放电时产生的电磁脉冲
3.2敏感组件:电子组件在电子产品制造业上最为普遍,最严重的
是静电危害.即电子组件在预处理.焊接.清洗.单板测试.组装,调试.直到包装,贮存,发送等工序时,由于接触--分离--摩擦--感应等作用,都会使操作人员.工具.工作台面,电子组件,电子组件包装容器等产生静电,同时会随时对电子组件造成静电损害.因此.此类电子组件为静电敏感组件(如IC.晶体等),总称\敏感组件\。
3.3静电释放:ESD(ELECTROSTATICDISCHARGE)一种突然产生
的静电重新分配,这对敏感组件或装置会造成损坏。
3.4静电(ESD)防护安全距离:为能使容易受静电破坏之产品.敏感
组件得到有效安全的保护.设立1米(3尺)保护范围的安全距离。
3.5ESD稽核员:对静电防护的产品.工作区域.敏感组件等进行技
术性之量测和处理之专业稽核检查人员。
3.6特定工作人员:指正规受训过并考试合格之ESD稽核员和主管
级以上干部。
3.7自我检查:表示工作区域内之全部人员每日上班前对自己工作区域内静
电防护检查。
3.8保护接地:将电气设备.装置不带电的金属部分与接地体(地壤直接接触
的导电金属体)之间作良好的金属连接。
3.9表面阻抗:表示物体之表面部分与接地线之间的绝缘电阻阻抗
数值,通常用奥姆(Ω)表示。
3.10静电电压:表示物体表面过剩或不足的静止电荷量.用电压伏(Voltage) 表示。
3.11防静电屏蔽袋:用防静电材料之包装袋进行成品或半成品包
装(适用于客户要求)。
3.12导体容器:用于存放防静电成品,半成品之导电体容器。 3.13有线静电手环:为防止人体接触敏感组件而造成静电破坏,佩带于手(脚)
上的防静电物品,并用一根导线连接接到大。.要求:手环上之电阻在
8.0×10~10Ω范围内.佩带手环之紧度要接触皮肤为准.静电手环
又俗称“静电手腕”。
3.14静电手套:为防止人手触摸敏感组件,使其上汗.油污并造成静电破坏和
腐蚀,特佩带防静电的材料制作成的手套,并要求静电阻抗为
10~10Ω,范围内,静电电压为100伏特以下。
3.15防静电周转箱:为使容易受静电敏感之成品.半成品,存放于用防静电材
料制作的容器内,进行储存或运输.并要求用防静电材料制作之隔板进 行隔离。
3.16检定:即用标准器对被量测之仪器进行比对.检定值是否超出误差范围。
3.17内校:利用现有的可追溯到国家或国际之标准器,校正检定公
司内之仪器。
3.18校正失效:用标准器对厂内仪器进行量测比对,被量测之仪器示值超出
最大允许误差范围,则判定为校正不合格.即为校正失效。
3.19校验周期:仪器设备视其使用频繁程度,规定其每年进行校验检定次数。
即为校验周期。 4.0权责:
4.1仪校中心负责静电(ESD)控制技术指标.制订静电防护办法,以
及工作之倡导。
4.2品保单位.制造单位.SMT单位.实施静电防护工作.并每日进行
自我检查,提报不良状况。
4.3资材部实施静电保护工作.并对敏感之组件和成品.半成品妥
善之保存和防护。
4.4生技课ESD工程师负责对全厂内静电防护单位和个人进行
ESD技术性之控制.量测.稽核和处理改善。
5.0程序内容:
5.1静电(ESD)防护流程图 5.2作业说明: 5.2.1训练:
5.2.1.1对新进员工,必须进行静电防护(ESD)之教育训练.受
训时间不低 于4小时。
5.2.1.2无受过静电防护(ESD)训练培训者,不可上线静电防
护区域或接触敏感组件。
5.2.1.3特定人员.静电防护组织成员,稽核小组必须定期受
训。
5.2.1.4稽核小组组长拟订《教育训练计划表》(附件一)并根
据计划
表对全厂员工受训,受训时必须作出教育训练记录。5.2.1.5受训过静
电防护的人员,必须有静电防护识别标示(如下图一所 示),分期对人员进行受训。
5.2.1.6受训后人员必须进行考试,及格为80分。考试题目如
(附件二)(附
件三)所示。
5.2.1.7受训课程必须包含以下内容:
受训内容 静电之概念产生物理过程 静电之来源.对半导体组件的不良影响. 静电防护区域之化分及防护措施 保护静电之包装.运输.储存 静电防护的识别标示. ESD管理小组及工作职掌 自我检查的流程内容及实施 玛带标贴\
静电(ESD防护安全距离\如下图(二)所示。只能在其范围内组装和装
置。有效距离为1米(3尺)内。
5.2.3静电防护在其控制作业中,每周指派专人进行技术量测和
稽核,并记录于【ESD稽核检查记录周报表】(PHG-Q4-PE39)内。
5.2.4每年必须对外包厂进行之评鉴一次以上,记录于【外包厂
ESD评监报告】(PHG-Q4-PE42)内,对不良状况提出改善意见和对策,并定期进行追踪处理结果,记录于【ESD异常处理对策单】(PHG-Q4-PE43)内。
5.2.5矫正措施:
当静电电压超过100V时,并对其进行隔离,分析不良原因,加
以改善,必须有ESD稽核员。ESD工程师和ESD主任3人以上人员进
行确认并记录于【ESD异常处理对策单】内。
5.2.6紧急事故处理:
当在静电防护区域作业时,发生意外事故时,应先考虑是否对 人身安全有危害,并立即采取措施解决.尔后,再考虑解决是否对静
1H 0.5H 0.5H 0.5H 0.5H 0.5H 0.5H 受训时间 受训人数 (不得超过) 30 30 30 30 30 30 30 5.2.2静电控制区域:凡对敏感组件会造成伤害之区域必须用班