一种AlCrSiN和AlCrSiON双层纳米复合涂层及其制备方法

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN202411355670.X （22）申请日 2024.11.14

（71）申请人 天津职业技术师范大学

地址 300222 天津市津南区大沽南路1310号

（10）申请公布号 CN109402564A

（43）申请公布日 2024.03.01

（72）发明人 王铁钢;林伟;张姣姣;侯翔;阎兵;刘艳梅

（74）专利代理机构 天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人 王海滨

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种AlCrSiN和AlCrSiON双层纳米复合涂层及其制备方法

（57）摘要

本发明公开了一种AlCrSiN和AlCrSiON

双层纳米复合涂层及其制备方法，将清洗后的待镀膜硬质合金放置于镀膜机内，进行辉光清洗；然后开启Cr靶，弧源电流调节为90A，调节脉冲偏压分别在?800V、?600V、?400V、?200V下各轰击清洗2min；通入氩气50sccm，氮气200sccm，调节脉冲偏压为?100V，沉积CrN金属氮化物过渡层20min；关闭Cr靶，开启两个AlCrSi靶，电流为90A，氩气50sccm，氮气600sccm，温度加热为