镀膜机常见故障及分析解决预防措施
.常见故障，问题及解决方法
下表对一些镀膜时常见的故障、真空度问题、及掉膜和膜质问题做了一些简单分析 予解决方案及预防措施 故障 占 八、、 ，并给
故障现象 故障原因 解决及预防措施 备注 1.1.开枪有咼压， 1.灯丝保险烧断 2.灯丝烧断 3.南光枪枪体右边引 1.检查灯丝保险，烧断则更换 2.保险正常则检查灯丝更换枪 体. 立即 关高 压 无束流 1.高压 和束 线碰到枪体底坐 3.调整引线与枪体底坐的间距. 流 在抽气前检查枪体. 1.2.开咼压显示跳 1.束流控制调在手动， 1.电位器归零.在预熔完后应将 电位器未归零 2.枪体短路 3.高压电极保护罩或 灯丝电位器归零 2.将连接灯丝变压器的高压引 立即 关高 压 动幅度大，并有束 流跳动 线取下（注意引线不能碰到机 屏蔽碰到咼压引线造 器应悬空）开咼压，正常则枪 成短路 体或咼压电极保护罩或屏蔽短 4.电柜故障 路造成 3.放气检查电极保护罩或屏蔽 4.检修电柜 1.3.开枪无高压， 1.高压保护不到位（偏 1.检查相应的高压保护 无束流 转.真空.柜门） 2.检修高压控制电路 资料
2.高压电路出问题 14镀膜时高压会 1.真空继电器烧坏 2.高压电路出问题 1.BT138可控硅被击 穿 1.更换真空继电器 2.检修高压电路 1.更换 BT138 2.检查枪体 常见4 号机 常见4 号机 下跌 1.5.镀膜时灯丝突 然很亮（束流达到 满格） 2.枪体短路 1.6有咼压，有灯 1.栅极片短路 2.扫描出问题或扫描 1.整理枪体 丝电流，无光斑 2.检修扫描，正确连接扫描线 线接反了 1.7.束流上不去， 1.灯丝位置不正或变 形 1.重新安装或更换灯丝.为了 达不到以前的水平 更好的对灯丝定形及延长灯丝 （同样功率达不到 2.灯丝被氧化 使用寿命，在更换新灯丝后应对 以前的速率） 3.连接枪体的各接头 松动 灯丝进行预热处理 2.更换灯丝.为防止灯丝氧化在 4.坩埚转速太快 放气前应注意检查关闭灯丝电 5.材料被污染 源开关 6.晶片被挡住 3.拧紧各连接处. 4.调整坩埚转速 5.取出被污染的材料或更换新 材料 6.调整晶片挡板位置.抽气应检 1
资料
7.电柜出问题 查晶片是否被挡 7.检修电柜 1.8.阻蒸电流调不 1.蒸发舟烧断或松掉 造成接触不良 2.空气开关跳闸 1.更换蒸发舟或拧紧螺钉.为了 上去 防止接触不良，各电极和压块 应清洗干净.更换在蒸发舟时应 3.调节电流的电位器 将铜压块取下砂干净再安装蒸 坏了 发舟 4.铜电极与真空室底 2.打开空气开关 3. 更换电位器 4. 清洁磨平接触不良的地方并 拧紧螺钉 板下的引线接触不良 1.9.速率不稳定 1.晶片失效 2.料面不好 1.选择好的晶片，1.2枪的速率 要匹配 3.功率设置不合理 2.料要加平整，养成停坩埚的好 4.控制参数PID设置 习惯 不合理 3.预熔功率及最大功率设置合 5.灯丝接触不好或老 理（最大功率为略大于蒸发时所 化 需功率） 4. 设置合理的PID参数 5. 紧固或更换灯丝 6. 解决打火现象 6.高压打火 资料
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