31、图示说明连续薄膜形成时三种可能的核心吞并互连机制及其驱动力的异同。
32、溅射薄膜主要有哪四种结构形态？根据Thornton模型图示说明其形成条件、形成特点、组织、性能和表面形貌特征。
33、画出低温抑制型薄膜生长时，沉积原子入射方向角
在0-89o之间变化时，其纤维状
结构的生长角 随 的变化规律曲线，并依据该曲线分析 在什么范围时，纤维结构的生长方向与入射来流的方向出入较小、何时出入最大？
34、图示说明溅射气体压力、沉积温度及基片负偏压等工艺参数对溅射薄膜内应力状态及水平的影响规律，分析怎样才能在获得较致密 T 型组织的同时，获得适度的膜内压应力状态。
35、图示说明薄膜-基体界面形态主要有哪四种？各有何特点？附着力如何？ 36、薄膜材料的表征一般可分为哪几大类？
37、薄膜厚度和沉积率的实时监测主要有哪些方法？已镀制薄膜厚度的测量方法主要有哪些？其中哪些可用于透明薄膜的厚度表征？
38、选择三种膜厚/沉积速率表征法，图示说明其测量原理、特点和适用场合。
39、列表比较常用薄膜成分表征方法的入射束、出射束、可探测元素范围、探测极限、空间分辩率和深度分辨率等特性，并说明哪些方法可用来分析原子的化合态？
分析方法 EDX AES XPS RBS 元素范围 探测极限 空间分辩率 深度分辨率 入射束 出射束 11
SIMS
40、薄膜附着力目前是否有完善的定量表征方法？图示说明其主要表征方法的实现原理。 41、图示说明薄膜截面TEM样品的基本制备步骤和TEM电子衍射花样特征与薄膜组织特征的一般对应关系。
42、实现真空蒸发镀膜需要建立怎样的蒸发条件？实现这一条件的三个途径分别是什么？已知某型电阻加热蒸发装置的极限加热温度为2250 K，蒸发物的平衡蒸汽压Pe ≥ 1.0 Pa时可满足蒸镀要求，试根据右图所给数据，确定图中各种金属在该设备上实现蒸发条件要求的蒸发温度，指出其中哪些材料不能在该设备上实现蒸发镀膜。
12
薄膜材料与技术复习题 - 图文
