C自来水进水FCPFFP不合格排放排放快速过滤器P超滤装置PPc高压泵反洗排放水P反渗透装置原水箱原水泵FR用水点P紫外线杀菌灯紫外线杀菌灯化学计量泵RF不合格排放0.1um过滤器氮气瓶P纯水出口调压阀FPFPP过滤器循环泵风机Fk浓水回流或排放CFk极水浓水纯水抛光混床超纯水泵符号说明:氮封超纯水箱极水排放二级EDI膜堆0.2um过滤器不合格排放纯水泵纯水箱P电磁阀球阀止回阀压力表Pc压力控制器FRCFK流变控制开关
图 5 常用的一级RO+二级EDI电子+MB 电子I级超纯水系统工艺配置图
流量计电阻率表电导率表
适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率18～
18.2MΩ·cm的超纯水系统
C自来水进水FCPFFP不合格排放排放快速过滤器P超滤装置PPc高压泵反洗排放水P反渗透装置原水箱原水泵FR用水点P紫外线杀菌灯紫外线杀菌灯化学计量泵RF不合格排放0.1um过滤器氮气瓶P纯水出口调压阀FPFPP过滤器循环泵风机Fk浓水回流或排放CFk极水浓水纯水超纯水泵符号说明:氮封超纯水箱极水排放二级EDI膜堆0.2um过滤器不合格排放纯水泵纯水箱P电磁阀球阀止回阀压力表Pc压力控制器FRCFK流变控制开关流量计电阻率表电导率表
图 6 常用的一级RO+二级EDI电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图
适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率15～
18MΩ·cm的超纯水系统
图 7是常用的一级EDI全系统组成图。
C自来水进水取样保安过滤器不合格排放PF风机PcPH调节PcP原水箱原水泵机械过滤器活性炭过滤器阻垢剂加药PP脱气水箱纯水泵P二级高压泵一级高压泵一级反渗透装置RP紫外线杀菌灯化学计量泵过滤器FICb用水点0.1um过滤器不合格排放氮气瓶RPF极水FPPc纯水FP浓水循环泵风机F不合格排放P抛光混床符号说明:TOC分解器超纯水泵氮封超纯水箱一级EDI膜堆CPC纯水泵0.2um过滤器不合格排放二级反渗透装置脱气水箱P电磁阀球阀止回阀压力表Pc压力控制器FRC流量计电阻率表电导率表
超纯水系统工艺流程图
