超纯水系统工艺流程图

超纯水系统工艺流程图

C保安过滤器不合格排放PPc原水箱原水泵机械过滤器活性炭过滤器软水器盐箱高压泵F取样P自来水进水P反渗透装置FR用水点P紫外线杀菌灯紫外线杀菌灯RF纯水出口调压阀化学计量泵P不合格排放0.1um过滤器氮气瓶FPFPP过滤器FI风机循环泵Fk浓水回流或排放CFk极水浓水纯水抛光混床超纯水泵符号说明:氮封超纯水箱极水排放二级EDI膜堆0.2um过滤器不合格排放纯水泵脱气水箱P电磁阀球阀止回阀压力表Pc压力控制器FRCFK流变控制开关

图 3 常用的一级RO+二级EDI+MB 电子I级超纯水系统工艺配置图

流量计电阻率表电导率表

适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率18～

18.2MΩ·cm的超纯水系统

C保安过滤器不合格排放PPc原水箱原水泵机械过滤器活性炭过滤器软水器盐箱高压泵FP反渗透装置化学计量泵取样FR用水点P紫外线杀菌灯紫外线杀菌灯RF纯水出口调压阀P自来水进水P不合格排放0.1um过滤器氮气瓶FPFPP过滤器FI风机循环泵Fk浓水回流或排放CFk极水浓水纯水超纯水泵符号说明:氮封超纯水箱极水排放二级EDI膜堆0.2um过滤器不合格排放纯水泵脱气水箱P电磁阀球阀止回阀压力表Pc压力控制器FRCFK流变控制开关流量计电阻率表电导率表

图 4常用的一级RO+二级EDI电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图

适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率（小于1000μs/cm），要求产水电阻率15～

18MΩ·cm的超纯水系统