TFT阵列基板制作方法及TFT阵列基板、显示设备

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201310415138.3 （22）申请日 2013.09.12

（71）申请人 北京京东方光电科技有限公司

地址 100176 北京市大兴区经济技术开发区西环中路8号

（10）申请公布号 CN103474399A

（43）申请公布日 2013.12.25

（72）发明人 姜晓辉;张家祥

（74）专利代理机构 北京同达信恒知识产权代理有限公司

代理人 黄志华

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

TFT阵列基板制作方法及TFT阵列基板、显示设备

（57）摘要

本发明公开了一种TFT阵列基板制作方法

及TFT阵列基板、显示设备，涉及液晶显示技术，在进行栅极层、栅绝缘层、有源层的图案制作时，依次沉积栅极层材料、栅绝缘层材料、有源层材料，通过一次构图实现栅极层、栅绝缘层、有源层的制作，节省了至少一次掩膜，降低了工艺流程复杂度。

法律状态

法律状态公告日

2013-12-25 2014-01-22 2015-12-02

公开

法律状态信息

公开

实质审查的生效 授权

法律状态

实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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