多晶硅绒面结构光学特性的数值模拟

多晶硅绒面结构光学特性的数值模拟

张发云

【期刊名称】《材料导报》 【年(卷),期】2014(028)018

【摘要】基于麦克斯韦方程组和材料本构方程,利用多物理场有限元软件COMSOL Multiphysics 3.5a中的RF模块建立了多坑绒面的有限元模型,并对硅片腐蚀前后的光学特性进行了模拟.研究表明,与硅片腐蚀前相比,腐蚀后(即多坑)绒面反射率较低,功率流y分量较高,具有较好的陷光效果,当波长为800 nm时,多坑绒面表面电场z分量的最大值和最小值分别为腐蚀前硅片的3.1倍和2.3倍,而表面磁场y分量两个极值分别为腐蚀前硅片的6倍和6.6倍;通过将模拟结果和实验数据比较可知,多坑模型模拟结果更接近实验值,所获模拟结果可更好地指导实际生产. 【总页数】4页(137-140)

【关键词】多晶硅;多坑;反射率;绒面;数值模拟 【作者】张发云

【作者单位】江西省高等学校硅材料重点实验室,新余338004;新余学院新能源科学与工程学院,新余338004 【正文语种】中文 【中图分类】TM914.4 【相关文献】

1.酸腐蚀多晶硅绒面光学特性的模拟研究 [J], 张发云 2.多晶硅制绒添加剂改善绒面织构的研究 [J], 杨增辉

3.多晶硅太阳电池绒面反射率的研究 [J], 许礼; 王丽婷

4.酸性添加剂对多晶硅绒面形貌的影响 [J], 习冬勇; 陈淳; Thangaraj Baskara pandian; 孙杰

5.利用金属辅助化学腐蚀法在硅表面获得纳米绒面结构以提升多晶硅太阳电池效率? [J], 陈森荣; 梁宗存

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