（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
（21）申请号 CN202410181489.2 （22）申请日 2024.03.16
（71）申请人 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
地址 511300 广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号
（10）申请公布号 CN111398778A
（43）申请公布日 2024.07.10
（72）发明人 董显山;来萍;黄钦文;黄云;杨少华
（74）专利代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人 黄隶凡
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
MEMS器件敏感结构辐照在线监测装置及监测方法
（57）摘要
本申请涉及一种MEMS器件敏感结构辐照
在线监测装置及监测方法；其中，MEMS器件敏感结构辐照在线监测装置，包括对敏感结构与信号处理电路进行预设距离隔离的移动载体，以及对信号处理电路进行辐照屏蔽的屏蔽体；其中，移动载体包括用于布设敏感结构的第一固定部，和用于布设信号处理电路的第二固定部，第一固定部与第二固定部间隔设置、以使敏感结构与信号
处理电路以预设距离隔离，敏感结构连接信号处理电路；屏蔽体设有空腔，屏蔽体顶部设有与空腔相连通的出入孔，以供布设有信号处理电路的第二固定部的进出；当信号处理电路位于空腔内时进行辐照，并基于待测MEMS器件的在线输出参数得到监测结果。本申请可实现只针对敏感结构的辐照及在线监测。
法律状态
法律状态公告日
2024-07-10 2024-07-10 2024-08-04
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效
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权利要求说明书
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MEMS器件敏感结构辐照在线监测装置及监测方法
