CdTe薄膜的制备方法比较及其结构性能研究

CdTe薄膜的制备方法比较及其结构性能研究

李锦;郑毓峰;徐金宝;孙严飞;陈树义

【期刊名称】《功能材料》 【年(卷),期】2002(033)005

【摘要】采用真空热蒸发VE、射频溅射沉积RF和近距离升华CSS技术制备CdTe薄膜,并对其进行掺杂研究.样品利用XRD、SEM、紫外-可见分光光度计和霍尔系数测量系统进行测试.结果显示,CSS制备的CdTe薄膜与VE和RF法制备的薄膜相比,晶粒大,晶形好.适当的掺杂某些元素,适当的掺杂量,可以改善CdTe薄膜的结晶性能,提高其导电性能.掺杂对CdTe薄膜的光能隙影响不大. 【总页数】3页(508-510) 【关键词】CdTe薄膜;制备;掺杂

【作者】李锦;郑毓峰;徐金宝;孙严飞;陈树义

【作者单位】新疆大学,物理系,新疆,乌鲁木齐,830046;新疆大学,物理系,新疆,乌鲁木齐,830046;新疆大学,物理系,新疆,乌鲁木齐,830046;新疆大学,物理系,新疆,乌鲁木齐,830046;新疆大学,物理系,新疆,乌鲁木齐,830046 【正文语种】中文 【中图分类】TN304 【相关文献】

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