2018年PVD 镀膜材料行业分析报告

2018年PVD 镀膜材料行业分析报告

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目 录

1 PVD 镀膜两大主流：溅射镀膜和真空蒸发镀膜 ..........................................................................

1.1 溅射镀膜和溅射靶材 ......................................................................................................................................................... 1 1.2 真空蒸发镀膜和蒸镀材料 ................................................................................................................................................. 4

2 溅射靶材市场容量巨大，景气度不断增加 ..............................................................................

2.1 市场容量分析 ..................................................................................................................................................................... 7 2.2 半导体行业：发展迅猛，需求旺盛 ................................................................................................................................. 7 2.3 平板显示行业：稳定增长，前景广阔 ............................................................................................................................. 9 2.4 太阳能行业：高速发展，井喷增长 ............................................................................................................................... 10 2.5 光学元器件行业：多元驱动，稳步发展 ....................................................................................................................... 11

3 PVD 镀膜行业竞争格局：美、日垄断，中国崛起..........................................................................

3.1 溅射靶材被美、日、德跨国企业垄断 ........................................................................................................................... 13 3.2 大陆 OLED 产线如雨后春笋，蒸镀设备一机难求 ......................................................................................................... 14 3.3 政策利好国内厂商，有望松动垄断格局 ....................................................................................................................... 16

4 产业链自上而下金字塔分布，产业特征强区域性 .........................................................................

4.1 溅射靶材产业链各环节参与企业数量基本呈金字塔型分布 ........................................................................................ 18 4.2 溅射靶材上游产业集中度高，下游产业市场扩容........................................................................................................ 19 4.3 产业特征：弱周期性，强区域性 ................................................................................................................................... 19

5 投资策略 .........................................................................................................

图 目 录

图 1：溅射镀膜工作原理示意图 ................................................................................................................................................. 1 图 2：溅射靶材 ............................................................................................................................................................................. 2 图 3：溅射靶材发展历程 ............................................................................................................................................................. 2 图 4：溅射靶材产业链 ................................................................................................................................................................. 3 图 5：溅射靶材工艺流程 ............................................................................................................................................................. 4 图 6：真空蒸发镀膜工作原理示意图 ......................................................................................................................................... 5 图 7：真空镀膜材料 ..................................................................................................................................................................... 5 图 8：真空镀膜材料加工工艺流程 ............................................................................................................................................. 6 图 9：溅射镀膜和蒸发镀膜对比 ................................................................................................................................................. 6 图 10：2016 年全球溅射靶材市场容量（亿美元） .................................................................................................................. 7 图 11：全球高纯溅射靶材市场规模预测（亿美元） ............................................................................................................... 7 图 12：全球半导体 2008-2016 销售额 ........................................................................................................................................ 8 图 13：中国半导体 2009-2017 销售额及预测 ............................................................................................................................ 8 图 14：2011-2017 全球半导体用溅射靶材市场规模及预测 ..................................................................................................... 9 图 15：2010-2016 中国半导体用溅射靶材市场规模及预测 ..................................................................................................... 9 图 16：平板显示行业镀膜工艺流程 ........................................................................................................................................... 9 图 17：2013-2017 全球触控屏出货量及预测 ........................................................................................................................... 10 图 18：2013-2017 中国触控屏出货量及预测 ........................................................................................................................... 10 图 19：2009-2016 全球累积光伏装机量 ................................................................................................................................... 11 图 20：2009-2016 中国累积光伏装机量 ................................................................................................................................... 11 图 21：2014-2019 中国视频监控设备市场规模及预测 ........................................................................................................... 12 图 22：2015-2020 全球车载摄像头市场规模预测 ................................................................................................................... 12 图 23：OLED 制造工艺流程 ....................................................................................................................................................... 15 图 24：ELVESS OLED 大规模生产系统 ....................................................................................................................................... 16 图 25：Sunic OLED 蒸镀设备 ..................................................................................................................................................... 16 图 26：高纯溅射靶材产业链各环节参与企业数量呈金字塔型分布 ...................................................................................... 18 图 27：溅射靶材生产企业主要集中在美国、日本 ................................................................................................................. 20

表 目 录

表 1：溅射靶材分类 ......................................................................................................表 2：蒸镀材料种类 ......................................................................................................

表 3：全球太阳能电池用溅射靶材市场规模 ...................................................................................

表 4：各品牌手机 2015 年和 2016 年的市场份额和增长率情况 ...................................................................

表 5：国外主要溅射靶材厂商 ...............................................................................................表 6：国内 OLED 产线布局统计 ..............................................................................................表 7：中小尺寸 OLED 蒸镀设备主要厂商 ......................................................................................表 8：国家大力支持溅射靶材相关政策 .......................................................................................表 9：国内主要 PVD 镀膜材料厂商 ...........................................................................................表 10：溅射靶材产业链各环节主要公司 ......................................................................................表 11：重点关注公司盈利预测与评级 ........................................................................................

1 PVD 镀膜两大主流：溅射镀膜和真空蒸发镀膜

PVD（Physical Vapor Deposition）技术是制备薄膜材料的主要技术之一，在真空条件 下采用物理方法，将某种材料气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体（或 等离子体）过程，在基板材料表面沉积具有增透、反射、保护导电、导磁、绝缘、耐腐蚀、 抗氧化、防辐射、装饰等特殊功能的薄膜材料的技术。用于制备薄膜材料的物质被称为 PVD 镀膜材料。经过多年发展，PVD 镀膜技术被广泛用于应用于电子、光学、机械、建筑、材料 等领域，溅射镀膜和真空蒸发镀膜是最主流的两种 PVD 镀膜方式。

1.1 溅射镀膜和溅射靶材

溅射（Sputtering）镀膜技术利用离子源产生的离子，在高真空中经过加速聚集，而形 成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的 原子离开固体并沉积在基底表面而形成薄膜材料。被轰击的固体原料是用溅射法沉积薄膜的 原材料，称为溅射靶材。

溅射靶材具有高纯度、高密度、多组元、晶粒均匀等特点，一般由靶坯和背板组成。靶 坯属于溅射靶材的核心部分，是高速离子束流轰击的目标材料。靶坯被离子撞击后，其表面 原子被溅射飞散出来并沉积于基板上制成电子薄膜。由于高纯度金属强度较低，因此溅射靶 材需要在高电压、高真空的机台环境内完成溅射过程。超高纯金属的溅射靶坯需要与背板通 过不同的焊接工艺进行接合，背板起到主要起到固定溅射靶材的作用，且需要具备良好的导 电、导热性能。

图 1：溅射镀膜工作原理示意图

按使用的原材料材质不同，溅射靶材可分为金属/非金属单质靶材、合金靶材、化合物靶 材等。溅射镀膜工艺可重复性好、膜厚可控制，可在大面积基板材料上获得厚度均匀的薄膜， 所制备的薄膜具有纯度高、致密性好、与基板材料的结合力强等优点，已成为制备薄膜材料 的主要技术之一，各种类型的溅射薄膜材料已得到广泛的应用，因此，对溅射靶材这一具有 高附加值的功能材料需求逐年增加，溅射靶材亦已成为目前市场应用量最大的 PVD 镀膜材 料。