XPS 分 峰处 理
实验条件：样品用VG Scientific ESCALab220i-XL型光电子能谱仪分析。激发 源为Al
K aX射线，功率约300 W。分析时的基础真空为3X10\9 mbar。电子结合能用污染碳的 C1s峰（284.8 eV）校正。
X-ray photoelectr on spectroscopy data were obta ined with an ESCALab220i-XL electron spectrometer from VG Scientific using 300W AlK a radiation. The base pressure was about 310-9 mbar. The binding en ergies were refere need to the C1s line at 284.8 eV from adve ntitious carb on. 处理软件：Ava ntage 4.15
XPS数据考盘后的处理数据步骤
Origin 作图：
1. open Excel文件，可以看到多组数据和谱图，一个 sheet对应一张谱图 及相
应的数据（两列）。
2. 将某一元素的两列数据直接拷贝到 Origin中即可作出谱图。（注意：X 轴为
结合能值，丫轴为每秒计数）
3. 如果某种元素有两种以上化学态，需要进行分峰处理时，按“ XPS Peak分峰 步骤”进行。
XPS Peak分峰步骤
1 ?将所拷贝数据转换成所需格式：把所需拟合元素的数据引入 Origin后，将
column A和C中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边 为结合能，右边为峰强），并存盘。如要对数据进行去脉冲处理或截取其中 一部分数据，需在Origin中做好处理。
2?打开XPS Peak,引入数据：点Data----lmport（ASCII），引入所存数据，则出 现
相应的XPS谱图。
3?选择本底：点Background,在所出现的小框中的 High BE和Low BE下方将 出现
本底的起始和终点位置（因软件问题，此位置最好不改，否则无法再回 到Origin），本底将连接这两点，Type可据实际情况选择。确定好本底的 位置后，回到TXT文本中将不在本底范围内的数据删除，然后保存。再重 新 Import ASCII。
4. 选峰：点Add peak，出现小框，在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型
（如C1s峰则选s， S2p峰则选p），在Position处选择希望的峰位，需固定 时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽（FWHM ）、峰面积等。各项中的 constraints可用来固定此峰与另一峰的关系，如 Pt4f7/2和Pt4f5/2的峰位间距 可固定为3.45,峰面积比可固定为4:3等。点Delete peak可去掉此峰。然后 再点Add peak选第二个峰，如此重复。 5. 后，点
选好所需拟合的峰个数及大致参数Optimise region进行拟合，观察拟
Optimise regio n。
合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可以多次点
6. 拟合完成后，分别点另一个窗口中的 Rigion Peaks下方的0、1、2等可看每 个
峰的参数，此时XPS峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不满意， 可改变这些峰的参数，然后再点 Optimise regio n。
7. 点Save XPS存图，下回要打开时点 Open XPS就可以打开这副图继续进行 处
理。
8. 点Data --- Print with peak parameters可打印带各峰参数的谱图，通过峰面积 可
计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。
9. ----------------- 点Data Export to clipboard，则将图和数据都复制到了剪贴板上，打开文
档（如Word文档），点粘贴，就把图和数据粘贴过去了。 10.
点Data ---- Export (spectrum),则将拟合好的数据存盘，然后在
Origin中从多列数据栏打开，则可得多列数据，并在图。
元素相对定量计算:
式中：li — i元素的峰强度(面积) S— i元素的相对元素灵敏度因子
Origin中作出拟合后的
XPS分峰处理备课讲稿
