2024年薄膜沉积设备ALD设备行业分析报告

2024年薄膜沉积设备ALD

设备行业分析报告

2024年6月

目 录

一、行业主管部门、主要法律法规和政策 ......................................... 5

1、行业主管部门与管理体制 ................................................................................ 5 2、行业政策及法规 ................................................................................................ 6

二、行业发展概况 ............................................................................ 12

1、先进薄膜沉积设备制造行业概况 .................................................................. 12 2、ALD技术及设备的发展历程 ........................................................................... 13

（1）ALD技术基本原理 ................................................................................................... 13 （2）ALD技术的发展历程 ............................................................................................... 14 （3）ALD技术的发展前景 ............................................................................................... 17

三、行业新技术新产业新业态新模式等近三年发展情况和未来发展趋势 ....................................................................................................... 19

1、不同电池结构和制备技术进步迅速，推进新工艺、新设备需求 .............. 19 2、集成电路设备国产化需求与趋势明确 .......................................................... 21 3、新兴显示技术兴起拉动水汽阻隔需求 .......................................................... 22

四、行业主要企业简况 ..................................................................... 24

1、光伏领域 .......................................................................................................... 24

（1）理想能源 ................................................................................................................... 25 （2）NCD株式会社 .......................................................................................................... 25 （3）Meyer Burger ............................................................................................................ 25 （4）Centrotherm .............................................................................................................. 26 （5）捷佳伟创 ................................................................................................................... 26

2、集成电路领域 .................................................................................................. 27

（1）Lam Research ............................................................................................................ 27

（2）ASM International ..................................................................................................... 27 （3）Applied Materials ...................................................................................................... 27 （4）Tokyo Electron ........................................................................................................... 27 （5）Hitachi Kokusai Electric ............................................................................................. 28 （6）北方华创 ................................................................................................................... 28 （7）沈阳拓荆 ................................................................................................................... 28

3、柔性电子领域 .................................................................................................. 28

（1）Beneq ........................................................................................................................ 28 （2）Lotus .......................................................................................................................... 29

五、行业发展态势 ............................................................................ 29

1、光伏行业的发展态势 ...................................................................................... 29

（1）光伏市场发展情况 ................................................................................................... 29 ①全球光伏行业仍存在巨大发展空间 ....................................................................... 29 ②中国仍将是全球最大的光伏市场 ........................................................................... 32 A、我国光伏市场整体情况................................................................................... 32 B、中国将逐步实现光伏发电平价上网 ............................................................... 33 （2）电池片市场发展情况 ............................................................................................... 33 （3）光伏设备行业的发展情况 ....................................................................................... 35 ①全球光伏设备行业发展情况 ................................................................................... 35 ②高效电池生产设备行业发展情况 ........................................................................... 37

2、集成电路行业的发展态势 .............................................................................. 38

（1）集成电路行业发展态势 ........................................................................................... 38 ①全球市场发展情况 ................................................................................................... 39 ②我国集成电路市场发展情况 ................................................................................... 40 ③全球晶圆制造市场发展情况 ................................................................................... 43 （2）集成电路领域制造设备发展态势 ........................................................................... 44 （3）我国集成电路制造设备市场情况 ........................................................................... 46 （4）集成电路领域ALD设备应用前景 .......................................................................... 47