一种MEMS压力传感器测试分析

一种MEMS压力传感器测试分析

李盛楠;王健;赵华强;曹正宗

【期刊名称】《计量与测试技术》 【年(卷),期】2017(044)002

【摘要】MEMS压力传感器由于体积小使得工艺实现存在一定难度,样品的测试分析十分重要.本文对研制的三批样品进行测试分析,判断失效样品的制造原因,通过改进工艺,制备出符合要求样品,给出达标样品测试结果. 【总页数】2页(1-2)

【关键词】压力传感器;测试;满量程输出 【作者】李盛楠;王健;赵华强;曹正宗

【作者单位】沈阳化工大学信息工程学院,辽宁 沈阳 110142;沈阳化工大学信息工程学院,辽宁 沈阳 110142;沈阳化工大学信息工程学院,辽宁 沈阳 110142;沈阳化工大学信息工程学院,辽宁 沈阳 110142 【正文语种】中文 【中图分类】TP212.1 【相关文献】

1.一种齐平封装的MEMS高频响压力传感器 [J], 李建波; 赵玉龙; 赵立波 2.一种MEMS压力传感器的工艺设计与仿真 [J], 王健; 赵华强; 李盛楠; 曹正宗

3.一种齐平封装的MEMS高频响压力传感器 [C], 李建波; 赵玉龙; 赵立波 4.一种MEMS压力传感器的标定和温度补偿方法 [J], 沈晓春; 刘利; 周飞 5.一种用于恶劣环境下的贴片式MEMS压力传感器 [J], 宋子军; 张聪; 赵涌;

袁世辉

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