¹âÏ˹âÕ¤µÄÖÆ×÷Óë·¢Õ¹
£±.1 ¹âÏ˲ÄÁϵĹâÃôÐÔ
¹âÏ˹âÕ¤µÄ¹âÃôÐÔÊÇÖ¸ÎïÖʵÄÎïÀí»òÕß»¯Ñ§ÐÔÖÊÔÚÍⲿ¹âµÄ×÷ÓÃÏ·¢ÉúÔÝʱ»òÓÀ¾ÃÐԸıäµÄ²ÄÁÏÊôÐÔ¡£¶Ô¹âÏ˲ÄÁϵĹâÃôÐÔ¶øÑÔ£¬ÔòÊÇÖ¸ÕÛÉäÂÊ¡¢ÎüÊÕÆס¢ÄÚ²¿Ó¦Á¦¡¢ÃܶȺͷÇÏßÐÔ¼«»¯Âʵȶ෽ÃæµÄÌØÐÔ·¢ÉúÓÀ¾ÃÐԸı䡣
ʯӢ²ÄÁϵķÖ×ӽṹͨ³£ÎªËÄÃæÌå½á¹¹£¬Ã¿¸ö¹èÔ×Óͨ¹ýÐγɹ²¼Û¼üÓëËĸöÑõÔ×ÓÏàÁ¬¡£ËäÈ»GeÔ×ÓÓëSiÔ×ÓͬΪËļÛÔªËØ£¬¿ÉÒÔ´úÌæSiÔ×ÓÔÚʯӢ²£Á§ËÄÃæÌå½á¹¹ÖеÄλÖÃ,µ«ÊÇ £ÇeµÄ²ôÈëÈÔ½«¶ÔʯӢ²£Á§µÄ·Ö×ӽṹ²úÉú¸ÉÈŲ¢²»¿É±ÜÃâµÄÐγÉȱÏÝÖÐÐÄ¡£ÓÉÓÚ´¿Ê¯Ó¢²£Á§µÄÎüÊÕ´øλÓÚ£±6£°n£í´¦£¬¶Ô²¨³¤ÔÚ£±90n£íÒÔÉÏÒ»Ö±µ½ºìÍâÇøµÄ¹â¾ßÓдóÓÚ90%µÄ͸¹ýÂÊ¡£ÕâЩ²¨³¤µÄ¹â²»»á¶ÔʯӢ²ÄÁϵÄÐÔÖʲúÉúÈκÎÐÎʽµÄÓ°Ï죬Òò´Ë,¹âÏ˵ĹâÃôÐÔÓë²ôÔÓÓйء£
Ò»°ãÈÏΪ²ôÕàʯӢ¹âÏ˲ÄÁϵĹâÃôÏÖÏóÔ´ÓÚȱÏÝÖÐÐÄ¡£Æð³õ,ÔøÈÏΪ¹âÃôÐÔ½öÄÜ´Ó²ôÕà¹âÏËÖгöÏÖ,¹âÕ¤²»ÄÜ´Ó´¿¹èÏËоÉú³¤,O£È»ù¶Ô¹âÏ˵ĹâÃôÐÔ²»ÊDZØÒªµÄ¡£µ«ÊǺóÀ´ÊµÑé±íÃ÷£¬¹âÃôÐÔ´æÔÚÓÚÖÚ¶àÖÖÀàµÄ¹âÏË¡£±ÈÈç,»ùÓÚ¹è»ù¹âÏ˵IJôîð¹âÏË,²ôîæ¹âÏË,²ô¶üÕà¹âÏË,ÒÔ¼°²ô·úºÆÑιâÏ˵IJôïȶü¹âÏ˵ȡ£
È»¶ø´ÓʵÓõĹ۵ãÀ´¿´,×îÒýÈË×¢ÒâµÄ¹âÃô¹âÏ˾ÍÊǹ㷺ӦÓÃÓÚͨÐŲúÒµºÍ¹â´«¸ÐÁìÓòµÄÏËо²ôÕà¹âÏË¡£ÔÚ¹âÏ˲ÄÁÏÖвôÕàÒԺ󽫲úÉúλÓÚ£±80nm£¬195£îm£¬2£±£³nm,24£°nm,281n£í£¬32£µ£î£í,5£±7nmµÈ¶à¸ö¸½¼ÓµÄÎüÊÕ´ø£¬ÆäÖÐ2£´0nmºÍ195n£íΪǿÎüÊÕ´ø¡£240nmÎüÊÕ´øµÄ¿í¶ÈԼΪ£³0n£í£¬32£µnmÎüÊÕ´øµÄÇ¿¶È½öΪ240nmÎüÊÕ´øµÄ1/1000¡£Í¨³££¬¶Ô¹âÏ˲ÄÁϹâÃôÐÔÑо¿Ö÷Òª¼¯ÖÐÔÚ240n£íºÍ193£îmµÄ×ÏÍâ¹â²¨¶ÎÉÏ¡£ £±.2 ¹âÏ˲ÄÁϵÄÔöÃô¼¼Êõ
×Ô¹âÃôÐԵķ¢Ïֺ͵ÚÒ»´Î֤ʵÕà¹è¹âÏËÖеĹâÕ¤ÒÔÀ´£¬Ôö¼Ó¹âÏËÖеĹâÃôÐԾͳÉΪÁËÒ»¸öÖØÒªµÄ¿¼ÂÇÒòËØ¡£±ê×¼µ¥Ä£Í¨Ñ¶¹âÏËÖвôÓÐ3£¥µÄÕ࣬µäÐ͵ĹâÖÂÕÛÉäÂʱ仯Ϊ~3¡Á£±0-5¡£ÓÉÓÚ¹âÏ˲ÄÁϵĹâÃôÐÔÓë¹âÏ˵IJôÔÓŨ¶È»ù±¾ÉϳÉÕý±È¹Øϵ,Òò´ËÌá¸ß¹âÏ˲ÄÁϸйâÐÔ×îÖ±½ÓµÄ·½·¨¾ÍÊÇÌá¸ß¹âÏËоÇøµÄÕà²ôÔÓŨ¶È¡£Ò»°ãµØ,Ôö¼Ó²ôÕàŨ¶È¿Éµ¼ÖÂ~5¡Á1£°-4µÄ¹âÖÂÕÛÉäÂʱ仯¡£µ«ÊÇÓÃÕâÖÖ·½·¨Ìá¸ß¹âÏ˲ÄÁϵĹâÃôÐÔÓÐÒ»¸öºÜ´óµÄ²»ÀûÒòËØ,¼´Ôö¼Ó¹âÏËоÇøº¬ÕàÁ¿½«Ôö´ó¹âÏËоÇøºÍ°ü²ãÕÛÉäÂÊÖ®²î¡£Îª±£Ö¤¹âÏËÖ»ÄܽøÐе¥Ä£´«Ê䣬±ØÐë¼õÉÙ¹âÏ˵Äо¾¶¡£µ±Ð¾ÇøµÄÕຬÁ¿ºÜ¸ßʱ,¹âÏ˵Äо¾¶½«Òª·Ç³£Ð¡£¬Õ⽫ӰÏì¹âÃô¹âÏËÓëÆÕͨµ¥Ä£¹âÏ˵ÄÆ¥ÅäÐÔÄÜ¡£
Òò´Ë,Ñ°Çó¸üΪÓÐЧµÄ¹âÏ˲ÄÁÏÔöÃô·½·¨¾ßÓзdz£ÖØÒªµÄÒâÒå¡£Ìá¸ß¹âÏ˲ÄÁÏ×ÏÍâ¸Ð¹âÌØÐԵķ½·¨¿ÉÒÔ´ÓÒÔϼ¸¸ö·½Ã濼ÂÇ£º
£¨1£©Ôö¼Ó¹âÏ˲ÄÁÏÖеÄȱÏÝŨ¶È¡£
£¨2£©ÔÚ¹âÏ˲ÄÁÏÖвôÈë¾ßÓнϴó×ÏÍâÎüÊÕϵÊýµÄÔÓÖÊ¡£
£¨3£©ÔÚ¹âÏ˵ÄоÇø»ò°ü²ãÖвôÈëÊʵ±ÔÓÖÊ£¬¾¡¿ÉÄÜÔö´ó¶þÕßÖ®¼äµÄÈÈÌØÐÔʧÅä¶È¡£ Ä¿Ç°£¬ÒѾÓжàÖÖÓÐЧµÄ¹âÏ˲ÄÁÏÔöÃô·½°¸ÔÚʵÑéÊÒÓ¦Óá£ÕâЩ·½°¸Ö÷Òª·ÖΪÈýÖÖ£¬¼´ÔØÇâ¼¼Êõ¡¢¹âÏË»¹Ô·¨ºÍ¶àÖÖ²ôÔÓ¡£ 1.2.1 ÔØÇâÔöÃô¼¼Êõ
199£³Äê,AT£¦£Ô Bel£ìʵÑéÊҵģÐ.J.Le£íaireµÈÈËÊ×´ÎÒýÈëÁ˲ôÕàʯӢ¹âÏ˲ÄÁϵÄÔØÇâÔöÃô¼¼Êõ¡£²ôÕà3£ío£ì%µÄ¹âÏ˱»·ÅÈëÆøѹΪ2.0¡«7£¶MPa(µäÐÍֵΪ15M£Ða£©£¬Î¶ÈΪ2£°~7£ï
£µCµÄÇâÆøÖУ¬ÕâÖÖ·½·¨½«ÇâÆøÒÔ·Ö×ÓÐÎ̬À©É¢Èë¹âÏ˵ÄоÇø¡£ÔØÇâ¹âÏËÔÚÊÕµ½×ÏÍâ¹âÕÕÉäµÄʱºò»òÕß¼ÓÈÈʱ½«ÒýÆðÇâÆøµÄÓë²ôÕàʯӢ²£Á§Ö®¼äµÄ»¯Ñ§·´Ó¦,¼´H2·Ö×ÓÔÚSi-O-£ÇeÇø·¢Éú±ä»¯£¬ÐγÉÓëÕÛÉäÂÊÓйصÄGe-OH£¬£Ó£é-O£È,Ge££È£¬Si-HµÈ»¯Ñ§¼üºÍȱÑõÕàȱÏÝ
ÖÐÐÄ£¬´Ó¶øÌá¸ß¹âÏ˲ÄÁϵĹâÖÂÕÛÉäÂʱ仯,¿ÉÒÔʹÈκÎÀàÐ͵IJôÕàʯӢ¹âÏ˲ÄÁϵĹâÃôÐÔÌá¸ß1~2¸öÊýÁ¿¼¶,²¢ÔÚÆäÉÏдÈë¸ß·´ÉäÂʵĹâÕ¤¡£ÕâÑù¿ÉʹÕÛÉäÂʱ仯¦¤n±ÈÔÀ´µÄ±ä»¯Ìá¸ßÁ½¸öÊýÁ¿¼¶,¿É´ï~5.9¡Á10-3¡£ÁíÍâ,Ò²¿ÉÒÔ¶Ô¹âÏËÔØë®À´´ïµ½¹âÏËÔöÇ¿¹âÃôÐÔµÄÄ¿µÄ¡£ÔØÇâ¼¼ÊõµÄÓÅÊÆÊÇ¿ÉÔÚÈκÎÕà¹è»òÎÞÕà¹âÏËÖÐÉú²úBra£çg¹âÕ¤,¶øÇÒδÆعâµÄÔØÇâ¹âÏ˶ÎÔÚͨÐÅ´°¿ÚµÄÎüÊÕËðºÄ¿ÉÒÔºöÂÔ¡£
ÔØÇâ¹âÏ˵ÄÐγɵÄÕÛÉäÂʱ仯Êdz־õÄ,µ«ÊÇÓÉÓÚ¹âÏËÖдæÔÚδ·´Ó¦µÄÇâ,ʹ¹âÕ¤µÄÕÛÉäÂÊËæʱ¼ä¶ø·¢Éú±ä»¯£¬ÒýÆð×ÏÍâдÈë¹âÕ¤µÄ£Ârag£ç²¨³¤µÄ±ä»¯¡£Òò´Ë£¬ÔØÇâ¹âÏ˵ÄÈÈÎȶ¨ÐԺܲһ°ãÔÚÊÒÎÂÏ·ÅÖÃÁ½¸öÐÇÆÚÆäÕÛÉäÂÊÉî¶È¾ÍϽµ1£±%¡£Ì½Ë÷Ìá¸ßζÈÎȶ¨ÐԵĹâÏ˹âÕ¤ÖÆ×÷¼¼Êõ¾ßÓÐÖØÒªÒâÒ壬һÖÖ·½·¨ÊǶÔÆä½øÐмÓËÙÀÏ»¯,¼´ÓÃʺóÈÈ´¦ÀíÀ´Îȶ¨Æ䲨³¤£»ÁíÒ»ÖÖ·½·¨ÊÇÔØÇâ¹âÏËÏȾ¾ùÔÈÆعâÔ¤´¦ÀíÔÙдÈë¹âÕ¤¡£ 1£®2.2 ¹âÏ˲ÄÁϵĻ»ÔÐÔ´¦Àí
ÓÉÓÚ¹âÏ˲ÄÁϵĹâÃôÐÔÓë¹âÏ˲ÄÁϵÄÖеÄȱÑõÕàȱÏÝŨ¶ÈÖ±½ÓÏà¹Ø,ÇÒÁ½Õß½üËƵسÉÕý±È¹Øϵ,Òò´Ë¿ÉÒÔͨ¹ýÔÚ¹âÏËÀÖÆÖÐÍê³ÉºóÓÃÇâµÆ¶ÔËùÒªÆعâµÄ¹âÏ˶νøÐС°ÑæË¢¡±´¦Àí¡££±993
£ï
Äê,F.Bilo£äe£á£õµÈÈË°ÑÀÖƺõıê׼ͨÐÅÕà¹âÏËÄâдÈë¹âÕ¤µÄÒ»¶Î·ÅÔÚ~1700£ÃµÄÇâÑõÑæÏÂ×ÆÉÕ£¬Ê¹¹âÏËÔÚ240nm´¦µÄÎüÊÕÔö¼Ó¡£¸Ã×÷ÓÃÖ¸·¢ÉúÔÚº¬GeOµÄÏËо,¶Ô°ü²ãûÓÐÓ°Ïì¡£×ÏÍâÕÕÉä×ÆÉÕºóµÄ¹âÏ˿ɵõ½´óÓÚ£±0£3µÄÕÛÉäÂʱ仯,ʹ¹âÏ˲ÄÁϵĹâÃôÐÔÌá¸ßÁËÒ»¸öÊýÁ¿¼¶¡£ÓÃÕâÖÖ·½·¨ÔöÇ¿¹âÃôÐÔ²»»á²úÉúÕÛÉäÂʵÄÆ®ÒÆ¡£ÓÉÓÚ¶ÔÆعâÇø¶ÎµÄ¹âÏ˽øÐд¦Àí,Òò´ËÕâÖÖ·½·¨¶ÔÁ½¸öÖ÷ÒªµÄͨÐÅ´°¿Ú¼¸ºõûÓÐÓ°Ïì¡£¿ÉÔÚ±ê׼ͨÐŹâÏËÖÐдÖƳöÇ¿B£ò£ágg¹âÕ¤¡£È»¶ø,¸Ã¼¼ÊõµÄÖ÷ҪȱµãÊǸßÎÂ×ÆÈÆÆÆ»µÁ˹âÏË,Óг¤ÆÚÎȶ¨ÐÔµÄÎÊÌâ¡£
¶Ô¹âÏ˲ÄÁϽøÐл¹ÔÐÔ´¦ÀíµÄÁíÒ»ÖÖ·½·¨ÊÇÔÚ¹âÏËÔ¤ÖÆ°ôµÄÖÆ×÷¹ý³ÌÖÐÊ©¼Ó»¹ÔÐÔÌõ¼þ»òÕ߶ԹâÏËÔ¤ÖÆ°ôÔÚ¸ßÎÂÇâÆøÖнøÐкó´¦ÀíʹоÇøµÄȱÑõÕàȱÏÝŨ¶ÈÔö¼Ó£¬¿É½«¹âÏ˲ÄÁϵĹâÃôÐÔÌá¸ß£²¡«3±¶¡£ÕâÖÖ·½·¨×î´óµÄȱµã¾ÍÊÇÇâÆøÓëG£å£Ï£²·´Ó¦Éú³ÉµÄ£ÏH-Àë×Ó½«ÔÚ£±.4£õ£í´¦²úÉúÒ»¸öºÜÇ¿µÄÎüÊÕ´ø¡£Õâ¸öÎüÊÕ´ø¶Ô¹âÐźÅÔÚÁ½¸öÖ÷ҪͨÐÅ´°¿ÚµÄ´«Êä¾ßÓзdz£²»ÀûµÄÓ°Ïì¡£
£±.2£®3 ¶àÖÖ²ôÔÓ
ÔÚÕà¹è¹âÏ˲ÄÁÏÖУ¬²ôÈëB¡¢Sn»ò£Á£ìµÈÔªËØ¿ÉÌá¸ß¹âÏ˲ÄÁϵĹâÃôÐÔ£¬ÆäÖÐÒÔB/GeË«²ôÔÓ¹âÏ˲ÄÁϵĹâÃôÐÔ×îÇ¿£¬Æä¹âÃôÐÔÒª±Èº¬ÕàÁ¿Ï൱µÄµ¥²ôÕà¹âÏ˲ÄÁÏÒª¸ß³öÔ¼Ò»¸öÊýÁ¿¼¶¡£ÕâЩ¹âÏ˶¼¿ÉÒÔ²ÉÓÃMCV£Ä¼¼ÊõÉú²ú¡£
ÔÚʯӢ²£Á§ÖвôÈëB½«Ê¹ÎïÀíÐÔÖÊ·¢ÉúºÜ´óµÄ±ä»¯£¬±ÈÈç,²ôBºóʯӢ²£Á§µÄÈÈÅòÕÍϵÊýÔö´ó£¬Í¬Ê±È۵㽵µÍ¡£ÔÚ¼¸°ÙÉãÊ϶ȸßÎÂϵÄÍË»ðʵÑé,֤ʵÁËÔÚB/£Çe¹âÏ˵ÄÏËоÇø½«ÓÉÓڣµIJôÈë¶øÒýÈë½Ï´óµÄÓ¦Á¦¡£
ÀûÓãÂ/GeË«²ôÌá¸ß¹âÏ˲ÄÁϹâÃôÐÔ×îÖ÷ÒªµÄÓÐÀûÒòËØÊǣµIJôÈëÄܹ»ÒýÆð¹âÏ˲ÄÁÏоÇøµÄÕÛÉäÂʵĽµµÍ¡£Òò´Ë,£Â/G£åË«²ô¹âÏ˲ÄÁÏ¿ÉÒÔ¾ßÓнϸߵÄÕà²ôÔÓŨ¶È£¬Í¬Ê±ÓÖ²»ÒýÆð¹âÏËо°üÕÛÉäÂʵÄÔö´ó,´Ó¶ø¿ÉʵÏÖÓëÆÕͨµ¥Ä£¹âÏ˵ÄÁ¼ºÃÆ¥Åä¡£
Òò´Ë£¬¶ÔÕâÖָ߶ȹâÃô¹âÏ˲ÄÁϵÄÑо¿¾ßÓкܴóµÄÒâÒå¡£
(1£©±ÜÃâÁ˶ԹâÏ˲ÄÁϽøÐг¤Ê±¼äÇÒ¾ßÓÐΣÏÕÐÔµÄÇâÆøÃô»¯´¦Àí¡£
(2)¿É±ÜÃâÓÉÓÚÔØÇâÔöÃôÔÚ¹âÕ¤ÇøÓòÒýÆðµÄôÇ»ùÎüÊÕËðºÄ,ÕâÒ»ËðºÄÔÚ³¤¶È½Ï´óµÄ Chir£ð¹âÏ˹âÕ¤ÖÐÊÇÊ®·ÖÑÏÖصġ£ £¨3)Ìá¸ßÁ˹âÕ¤µÄÖÆ×÷ЧÂÊ¡£
Èç¹û¶ÔB/GeË«²ô¹âÏ˲ÄÁϽøÒ»²½ÔØÇâ´¦Àí,¿ÉÒÔÔڽ̶̵ÄÆعâʱ¼äÄÚ»ñµÃºÜ¸ßµÄ¹âÕ¤·´ÉäÂÊ¡£
£±.£².4 Ô¤¼ÓÓ¦Á¦ÔöÃô¼¼Êõ
ÔÚдÈë¹âÕ¤µÄ¹ý³ÌÖУ¬¶Ô²ôÕà¹âÏËÊ©¼ÓÊʵ±Ó¦Á¦,½«»áÌá¸ß¹âÏ˵ĹâÃôÐÔ¡£Í¼1±íÃ÷£¬Ê©¼Ó3%Ó¦±äµÄÓ¦Á¦Çé¿öÏÂ,¿Éʹ¹âÃôÐÔÌá¸ß£²±¶ÒÔÉÏ£¬¶øÇÒÐγɵĹâÕ¤µÄÈÈÎȶ¨ÐÔÒ²½«±£³Ö²»±ä¡£ÔÚͬÑùµÄÆعâÌõ¼þÏÂдÈëBragg¹âդʱ£¬Ê©¼ÓÓ¦Á¦µÄ¹âÏ˽«»áµÃµ½¸ß´ï1£¸£äBµÄ·´ÉäÉî¶È£¬¶øδ¼ÓÓ¦Á¦µÄ¹âÏ˵ķ´ÉäÉî¶È½öΪ£·dB£¬Òò´ËÀûÓÃÕâÖÖ·½·¨½«»áÃ÷ÏÔËõ¶Ì¹âÏ˹âÕ¤µÄдÈëʱ¼ä¡£