CuO-TiO2气敏材料的制备及其低温丙酮气敏特性研究
郑洁;潘国峰;韩楠;肖悦;王如
【期刊名称】《电子元件与材料》 【年(卷),期】2024(038)003
【摘要】采用溶胶-凝胶法制备了CuO掺杂TiO2纳米材料并用于丙酮气敏传感器制备,通过XRD和SEM对样品的物相结构和表面微观形貌进行表征,利用EDS对样品的元素种类与平面分布进行了分析,研究了CuO掺杂量、工作温度、光激发等对元件气敏性能的影响.结果表明,CuO-TiO2对丙酮表现出良好的选择性,掺杂6.6％(质量分数)CuO的CuO-TiO2,经500℃退火后,在75℃下,对体积分数为1000×10-6丙酮的灵敏度达到106.71,响应时间和恢复时间均为2s;同时研究还显示光激发可以有效提高元件的气敏性能,紫外光照射下元件对丙酮的灵敏度相比无光条件下增幅95％,而可见光照射下元件对丙酮的灵敏度相比无光条件下仍能增幅50％. 【总页数】8页(21-27,33)
【关键词】氧化铜;二氧化钛;丙酮;工作温度;光激发;气敏性能 【作者】郑洁;潘国峰;韩楠;肖悦;王如
【作者单位】河北工业大学 电子信息工程学院 天津市电子材料与器件重点实验室,天津300130;河北工业大学 电子信息工程学院 天津市电子材料与器件重点实验室,天津300130;河北工业大学 电子信息工程学院 天津市电子材料与器件重点实验室,天津300130;河北工业大学 电子信息工程学院 天津市电子材料与器件重点实验室,天津300130;河北工业大学 电子信息工程学院 天津市电子材料与器件重点实验室,天津300130
【正文语种】中文 【中图分类】TP212 【相关文献】
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CuO-TiO2气敏材料的制备及其低温丙酮气敏特性研究
