深圳市光电有限公司 程序文件 文件名称: 静电防护管理规范 文件编号: WI-640-02 版本版次 : B4 生效日期: 受控状态: 批准 审核 拟制
1目的
提供建立、执行和维持静电防护项目的需求，确保我司产品不受静电伤害。
2、适用范围
本规范适用于静电敏感零件/物料（包括对静电放电损害的敏感度大于等于人体模型（HBM）100V的）的进料、储存、生产、处理、包装、标识、测试、检验等全过程管理。
3、参考文件
3.1 《静电测试仪作业指导书》……………………………………………………… WI-630-02-27
3.2 《离子风机保养规范》…………………………………………………………… WI-630-01-08 3.3 ANSI/ESD S20.20-2007
4、术语和定义
ESD: Electrostatic Discharge 静电释放 5、职责与权限
5.1 生产部：执行、维持静电防护要求。
5.2 PE： 作业现场静电防护培训和规划。
5.3 质量部：执行、维持静电防护要求，并定期审核静电防护执行状况。 5.4 仓储： 执行、维持静电防护要求。
5.5 设备部：负责静电、设备接地系统的建立、维护、量测。 5.6 办公室：统一组织公司新员工静电防护培训。
6、程序内容 6.1 静电防护依据
6.1.1 依据ANSI/ESD S20.20要求，规划静电防护系统。
当ANSI/ESD S20.20的要求或内部需求变更时，此管理规范需及时修订与发行。
6.1.2 应用人体模式（HBM）、机器模式（MM）、零件带电模式（CDM）理论消除各环节静电，确保产品不受
静电伤害。
（1） 人体模式防护：穿戴静电防护衣、静电防护鞋，将人体模式静电经过静电防护地板导入大地；戴
静电腕带通过静电接地线导入大地，消除人体模式静电破坏。
（2） 机器模式防护：设备接地，将机器设备摩擦产生的静电导入大地，消除机器模式静电破坏 （3） 零件带电模式防护：使用离子风扇/静电防护桌垫消除带静电零件/工具等瞬间放电对芯片的破坏。
由上述可知，要确保静电防护的有效，必须确保静电衣、静电腕带、静电鞋、静电防护地板、设备
接地、静电接地、离子风扇、静电防护桌垫等符合6.3静电防护规格要求。 6.2 静电防护管控方案 6.2.1 设备接地
（1）AC（交流）电源设备的第三条（即中间那条）接地线必须接地。当此条接地线无法使用或存在破损时，电工需使用其他导线进行有效接地。
（2）固晶机、焊线机、模压机、切割机、分光机、包装机等直接与晶粒材料接触的设备，其导体部件需良好接地。电工需定时对机台外壳及有关零部件进行0电压测试（每2周使用万用表检测1次,一头接地,
一头接机台进行0电压检测）。测试结果记录于《静电接地测试记录表》中。 检验标准： 电压小于0.5V为合格；
当超过0.5V时，需检查接地是否可靠/机台有无漏电。如有异常需及时反馈设备主管,进行处理改善（消除漏电、静电或感应电）。
（3) 厂内的各工作台面的静电接地，每个季度由电工使用接地电阻测试仪量测。测试的结果记录于《静电接地测试记录表》中。
量测标准：电阻小于10Ω为合格。 6.2.2 人员接地
（1）静电椅带有接地链条，人员配带有绳静电腕带，需将金属片紧贴于手腕，严禁将静电环带在防静电衣袖子外面（有绳静电腕带必须良好接地）。人体静电由静电衣、静电鞋通过静电防护地板导入大地，一般站立作业的员工原则上不需要求配戴静电环，但是有特殊要求的需按规定佩戴。
（2）每天由白班指定人员对所有静电环接地状况和防静电性能进行检测。如有不良，需立即修复；不能修复的，要及时更换并申请报废以旧换新，检测方法参《静电测试仪作业指导书》。测试结果记录于《静电环每日检测记录表》中。
（3）生产/设备/质量每班直接作业人员上班时，需量测人体综合电阻，量测方法参《静电测试仪作业指导书》。测试异常时，首先检查静电鞋底是否粘附灰尘或油污，清洁后测试仍不过，需立即向当班组长报告，更换静电鞋并申请报废以旧换新。
（4）所有静电环实行统一固定编号管理。按站别、工位配制并列表登记，由班长负责监管，任何人不得随便挪移。静电环不得携带出车间,下班时，必须卸置于工位上。 6.2.3 静电防护区域要求
（1）任何人进入无尘防静电车间，必需穿戴静电衣、静电鞋。
（2）作业、检验人员接触静电敏感材料（指固上芯片的材料），一般情况下，每只手需至少戴3只静电防护指套，确保手指不会直接接触材料。
（3）生产过程中所有的绝缘物体（如包装纸箱、绝缘塑胶袋）静电压可能超过2000V，应保持与芯片、半成品、成品至少距离30CM。如有静电担忧或小于30cm，以离子风扇来中和。与产品直接接触的导体静电压不超过100V，现场可以使用静电压量测仪随时测量。
（4）静电椅、推车、中转料架需通过接地链子与静电防护地板良好接触，并确保静电防护功能完好。 （5）离子风扇：
--- 来料检验、扩晶、固晶、固检、焊检﹑外观、剥料、分光、包装等制程在作业时必须使用离子风扇。 --- 上述各制程在作业前，打开离子风扇电源开关，并调节旋转开关至中央位置。离子风扇正对作业材料并能吹到作业材料，一般距离约为30cm，如特殊需加长，最大距离不超过60cm.
--- 离子风扇需维持功能良好，否则可能成为静电发生源。离子风扇的每日保养参《离子风机保养规范》（WI-630-01-08）。
--- 离子风扇性能检测每半年由质量部将所有离子风扇委外检测一次。检测合格标准是：离子风扇吹待测物，需于5秒内将待测物静电压从±1KV±20% 降低至±100V。
（6）供应商提供的静电敏感物料（如芯片、Zener），必需使用静电屏蔽材质包装完好。仓库点收人员及
点收、分发作业区需采取适当的防静电措施，如在铺有静电防护桌垫上作业。
（7）IQC在检验芯片、zener等静电敏感物料时，需带静电环且在静电防护区域作业， 检验在离子风扇的有效覆盖区域内完成。
（8）质量部、仓储在处理客户退回品时，必须在静电防护区域。
（9）静电防护区域的工作台如果是普通办公桌，桌面需铺设静电防护桌垫，静电防护桌垫需接地，且作业台面不堆积绝缘塑胶袋等易聚集静电的绝缘物。静电敏感材料的存放与一般材料分隔。 （10）静电防护无尘衣、静电鞋需保持清洁。 6.2.4 静电防护标识
如某区域为静电防护区域，则需贴上右图Fig 1，表示人员必需有适当的接地
或静电防护穿戴，才能接触静电敏感材料或进入静电防护区域。 6.2.5 静电防护检查
（1）各级管理人员随时自查各自静电防护区域的执行状况。 （2）质量部每半年实施一次静电防护内部审核。 6.2.6 静电防护培训
（1）所有新员工进厂时必须接受静电防护培训，培训由办公室统一组织并考核。只有接受静电防护知
识培训并考核合格的员工才能执行静电防护产品的作业。
（2）当内外部审核发现静电防护重大缺失时，失效的员工、部门需再次接受培训。 6.3 静电防护规格要求
6.3.1 静电防护用品包括：静电衣、静电鞋、静电手指套、静电椅、静电桌垫、静电腕带、静电铝箔袋、
静电防护地板等
（1）静电衣表面电阻值介于1.0*10 ～1.0*10 欧 （2）静电鞋体积电阻值介于7.5*10 ～1.0*10 欧 （3）静电手指套的表面电阻介于：1.0*10 ～1.0*10 欧 （4）静电椅子电阻：＜1.0*10 欧
（5）静电桌垫表面电阻和体积电阻介于：1.0*10 ～1.0*10 欧 （6）静电腕带电阻介于：7.5*10 ～1.0*10 欧
（7）静电铝箔袋：a、如果是静电消散材质，表面电阻值介于：1.0*10 ～1.0*10 欧；b、如果是屏
蔽材质，经过电场时，屏蔽袋内的物体能量变化＜50nJ.
（8）静电防护地板表面电阻介于：1.0*10 ～1.0*10 欧
6.3.2 采购在购买上述1)至7）的静电防护用品时，必须要求供应商提供符合我司静电防护要求的证明。
6.4 车间各工位静电防护要求如下表： 静电防护装置 序号 工序/站别 静电手环 手指套/手套 离子风扇 1 2 3 4 插支架/PCB 撕蓝膜 扩晶作业 换蓝膜
4
9
4
11
5
7
4
9
9
4
11
5
8
4
11
Fig 1
□ □ □ □ ■ □ □ □ □ ■ ■ ■ 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 备注： CHIP类 固晶检验 TOP类 固晶检验 固晶看机 固晶转料 CHIP类 焊线检验 TOP类 焊线检验 焊线看机 焊线转料 注胶/模压作业 注胶检验 模压检验 注胶/模压转料 注胶/切割外观检验 外观剥料 冲压/切割作业 冲压/切割检验 分光检验 分光看机 分光转料 包装检验 包装看机 包装转料 其它需直接接触材料 ■ ■ □ □ ■ ■ □ □ ■ ■ ■ □ ■ ■ ■ ■ ■ □ □ ■ □ □ □ □ ■ □ □ □ ■ □ □ ■ ■ ■ □ ■ □ □ ■ □ □ □ □ □ □ ■
■ ■ ■ □ ■ ■ □ □ □ □ ■ □ ■ ■ □ ■ □ ■ □ □ ■ □ □ 1、“■”为需要使用的防静电装置。
2、佩戴静电手环时需将金属片紧贴于手腕,严禁将静电环戴在防静电衣袖子外面。 3、离子风扇置于距作业材料30cm内且运风区须正对所作业材料。
4、手指套需戴在左/右手的拇指、食指、中指上；手套须戴在接触PCB的手上。
5、公司所有人员，只要进入生产车间，除了按照要求穿防静电服、防静电鞋/穿鞋套外，只要接触材料， 必须严格按照以上要求做好防静电措施。若有违反，第一次警告处理；第二次列入员工月度绩效考核； 第三次提报公司并贴出处罚通告，按公司规定处罚（1个月内）。
7、记录
7.1 《静电防护每日测试记录表》………………………………………………………… QR-640-04 7.2《(各站)_月设备每日保养表》………………………………………………………… QR-630-03 7.3《静电接地测试记录表》………………………………………………………………… QR-640-05
静电防护管理规范 B4
