（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
（21）申请号 CN200410093246.4 （22）申请日 2004.12.17
（71）申请人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
（10）申请公布号 CN1632552A （43）申请公布日 2005.06.29
（72）发明人 洪婷;张永刚;朱福英
（74）专利代理机构 上海智信专利代理有限公司
代理人 潘振甦
（51）Int.CI
G01N27/28; G01N27/44;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一类用于测量锑化物材料载流子浓度剖面的电解液
（57）摘要
本发明提供一类适用于电化学电容－电压
(ECV)方法测量锑化物半导体材料载流子浓度剖面分布电解液，目的在于提高电化学电容－电压方法测量锑化物材料载流子浓度的准确性。其基本特征在于：基础溶液为酒石酸钾钠的水溶液；在测量不同导电类型(p型或n型)的锑化物半导体材料时，分别添加酸性溶液或者碱性溶液以形成
可靠的电解液—半导体肖特基结，从而达到准确测量的目的。添加的酸性溶液可以是盐酸、酒石酸或冰醋酸等非氧化性酸或它们的混合物，添加的碱性溶液可为氢氧化钠或氢氧化钾与乙二胺四乙酸(EDTA)的混合溶液。在电化学C－V方法测量中采用此电解液测量锑化物材料的剖面载流子浓度，能获得与霍尔等方法测量结果相符的结果，并且具有无毒性、易保存等优点。
法律状态
法律状态公告日
法律状态信息
2005-06-29 公开
2005-08-24 实质审查的生效 2008-03-05 授权 2015-02-04
专利权的终止
法律状态
公开
实质审查的生效 授权 专利权的终止
权利要求说明书
一类用于测量锑化物材料载流子浓度剖面的电解液的权利要求说明书内容是....请下载后查看
一类用于测量锑化物材料载流子浓度剖面的电解液
