5MEMS——未来传感器主流工艺?微电子机械系统(MEMS)是由半导体制造技术发展而来,是一种把微型机械元件(如传感器)与电子电路集成在同一颗芯片上的半导体技术。?MEMS工艺优势:面积结构数量设备仪器优化边长与面积关系,单体微型化,材料利用率成几何增速非平面结构中实现扁平化,如薄膜线圈单批基片生产数量增多,材料、能源、人力利用率大幅增加工艺控制能力出众,成品率、可靠性、寿命等得到提升来源:《物联网时代传感器低成本化发展的思考》,新材料在线?MEMS传感器凭借着其体积小、成本低以及可与其他智能芯片集成在一起的巨大优势,必将成为传感器的主要生产技术。6
MEMS工艺有效减低成本?传感器制造的后道工序(封装、组装,检测等)占到整个传感器制造成本的70%以上材料、加工30%封装、组装,检测、试验70%来源:《物联网技术》?隔离液封压力传感器敏感器件价格(元/只)16001400120010008006004002000360200100607001500199019952000200520102015E来源:21ic.com 中国电子网,海通证券二、传感器市场分析
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全球传感器市场一直保持快速增长?2011年受全球经济下滑的影响,传感器市场增速同比下滑。
?随着全球市场的逐步复苏,2012 年全球传感器市场规模已达952 亿美元,2013 年约为1055 亿美元。?未来几年将保持20%以上的增速,2015 年市场规模将突破1500 亿美元。
18001600140012001000800600400200030% %5%0 09201020112012201320142015E市场规模(亿美元)增长率全球传感器市场规模及增长率Source:高工产业研究院,工信部9
美日欧等占市场份额70%以上?从全球总体情况看,美国、日本等少数经济发达国家占据了传感器市场70%以上份额,发展中国家所占份额相对较少。
?市场规模最大的3 个国家分别是美国、日本和德国,分别占据了传感器整体市场份额的29.0%、19.5%、11.3%。
其他美洲国世界其他国其他亚洲家, 6.5%家, 2.9%国家, 15.8%美国, 29.0%德国, 11.3%其他西欧国家, 15.0%日本, 19.5%全球传感器市场规模分布状况(2013 年)Source:工信部