微机电系统内温度传感器的负荷效应及其补偿

微机电系统内温度传感器的负荷效应及其补偿

李现明;张玉林;李建田

【期刊名称】《传感技术学报》 【年(卷),期】2007(020)008

【摘要】传感器对被测对象的负荷效应是微机电系统中不可忽视的一个问题.阐述了负荷效应的基本概念,提出了一种通过实验获取传感器负荷效应的方法,称之为\二减一法\并以聚合酶链式反应芯片内的温度传感器为例详细论述了该方法的具体应用.

【总页数】5页(1757-1761)

【关键词】传感器;负荷效应;微机电系统;聚合酶链式反应;芯片 【作者】李现明;张玉林;李建田

【作者单位】山东大学控制科学与工程学院,济南,250061;山东大学控制科学与工程学院,济南,250061;山东大学控制科学与工程学院,济南,250061 【正文语种】中文 【中图分类】TP273 【相关文献】

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