判断功能的传感器。 智能传感器主要形式:
一是采用微处理机或微型计算机系统以强化和提高传统传感器的功能, 即传感器与微处理机可分为两个独立部分,传感器的输出信号经处理和转化后由接口送到微处理机部分进行运算处理。这就是指的一般意义上的智能传感器, 又称传感器的智能化。
二是借助于半导体技术把传感器部分与信号预处理电路、输入输出接口、微处理器等制作在同一块芯片上,即成为大规模集成电路智能传感器,简称集成智能传感器。 研究方面:
(1)采用先进的微电子技术、计算机技术,研究开发出将传感器和微处理器结合、具有各种功能的单片集成化智能传感器,这是当前智能传感器的主要发展方向之一;
(2)针对传感器的材料,利用生物工艺和纳米技术,开发分子和原子生物传感器,这将为以后智能传感器的发展奠定基础;
(3)整合国内外芯片技术,结合敏感电子元件,研发出混合型集成智能传感器,这种传感器精度更高、成本更低、稳定性更好。我国在集成智能传感器领域已经取得了重大突破,国产传感器逐步打开了智能传感器的市场份额。
14-2.智能传感器一般由哪些部分构成它有哪些显著特点
智能传感器一般由传感器、信号处理模块、微处理器、A/D转换模块、记忆模块组成。 特点:
(1)利用微处理器不仅能提高传感器的线性度,而且能够对各种特性进行补偿。 (2)提高了测量可靠性,测量数据可以存取,使用方便。 (3)测量精度高。
(4)灵敏度高,可进行微小信号的测量。
(5)具有数字通信接口,能与微型计算机直接连接,相互交换信息。 (6)多功能。
(7)超小型化,微型化,微功耗。
14-3.传感器的智能化与集成智能传感器有何区别
传感器的智能化指的是传感器与微处理机可以分为两个独立部分,传感器的输出信号经处理和转化后经由接口送入微处理机部分进行运算处理。这类智能传感器主要由传感器、微处理器及其相关电路组成。而集成智能传感器指的是利用集成电路工艺和微机械技术将传感器敏感元件与功能强大的电子电路集成在同一芯片上,通常具有信号提取、信号处理、逻辑判断、双向通信、量程切换、自校准等功能。
MEMS传感器
1.什么是MEMS传感器
MEMS(Micro Electric Mechanical System):即微电子机械系统。用微电子技术和微机械技术制造的微敏感器件与微执行器的总和。
MEMS传感器是采用MEMS技术制造出来的传感器。
传感器由几部分组成各部分的作用是什么
微型机光电敏感器:感应被测量,转换成机械量输出,功能与传统传感器相同,区别是用MEMS工艺实现传统传感器的机光电元器件。
微型信号处理器:对敏感元件输出的数据进行各种处理,以补偿和校正敏感元件特性不理
想和影响量引入的失真,进而恢复真实的被测量。