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C自来水进水P取样F保安过滤器不合格排放PPcP原水箱原水泵机械过滤器活性炭过滤器软水器盐箱高压泵反渗透装置FPR紫外线紫外线杀菌灯杀菌灯RF化学计量泵用水点纯水出口FF风机调压阀PPP过滤器不合格排放PFI循环泵0.1um过滤器氮气瓶FkC浓水回流或排放Fk极水浓水纯水抛光混床超纯水泵氮封超纯水箱极水排放二级EDI膜堆0.2um过滤器纯水泵脱气水箱符号说明:不合格排放PPcFRCFK电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表流变控制开关图 3 常用的一级RO+二级EDI+MB 电子I级超纯水系统工艺配置图
适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率18～18.2MΩ·cm的超纯水系统
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C自来水进水P取样F保安过滤器不合格排放PPcP原水箱原水泵机械过滤器活性炭过滤器软水器盐箱高压泵反渗透装置FPR紫外线紫外线杀菌灯杀菌灯RF化学计量泵用水点纯水出口FF风机调压阀PPP过滤器不合格排放PFI循环泵0.1um过滤器氮气瓶FkC浓水回流纯水或排放Fk极水浓水超纯水泵氮封超纯水箱极水排放二级EDI膜堆0.2um过滤器纯水泵脱气水箱符号说明:不合格排放PPcFRCFK电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表流变控制开关图 4常用的一级RO+二级EDI电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图
适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率（小于1000μs/cm），要求产水电阻率15～18MΩ·cm的超纯水系统
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CFC自来水进水PPFF不合格排放排放P快速过滤器PPcP原水箱原水泵超滤装置高压泵反渗透装置FP反洗排放水化学计量泵R紫外线紫外线杀菌灯杀菌灯RF用水点纯水出口FF过滤器风机PPP循环不合格排放P调压阀泵0.1um过滤器氮气瓶FkC浓水回流极水浓水纯水或排放Fk抛光混床超纯水泵氮封超纯水箱极水排放二级EDI膜堆0.2um过滤器纯水泵纯水箱符号说明:不合格排放PPcFRCFK电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表流变控制开关图 5 常用的一级RO+二级EDI电子+MB 电子I级超纯水系统工艺配置图
适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率18～18.2MΩ·cm的超纯水系统
超纯水系统工艺流程图
