ITO薄膜的微结构及其分形表征
孙兆奇;吕建国;蔡琪;曹春斌;江锡顺;宋学萍
【期刊名称】《中国科技论文》 【年(卷),期】2008(003)004
【摘要】采用直流磁控溅射法制备氧化铟锡(ITO)薄膜,用XRD, TEM和分形理论测试和分析了不同退火时间ITO薄膜的微结构.XRD分析表明:退火时间持续增加,薄膜的晶格常数先减小后略有增大.这是薄膜中Sn4+取代Sn2+导致晶格常数减小和压应力不断释放导致晶格常数增大共同作用的结果.分形研究表明:分形维数随退火时间的延长先减小后增大,说明薄膜中平均晶粒尺寸先减小后增大,与XRD的研究结果一致. 【总页数】5页(273-277)
【关键词】无机非金属材料;微结构;分形;氧化铟锡(ITO)薄膜 【作者】孙兆奇;吕建国;蔡琪;曹春斌;江锡顺;宋学萍
【作者单位】安徽大学物理与材料科学学院,合肥,230039;合肥师范学院物理与电子工程系,合肥,230061;安徽大学物理与材料科学学院,合肥,230039;安徽大学物理与材料科学学院,合肥,230039;安徽大学物理与材料科学学院,合肥,230039;安徽大学物理与材料科学学院,合肥,230039 【正文语种】中文 【中图分类】O484 【相关文献】
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ITO薄膜的微结构及其分形表征
