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使用THz频段的检查装置

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(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明

(21)申请号 CN201580055107.9 (22)申请日 2015.10.09 (71)申请人 劳雷尔精机株式会社

地址 日本国大阪府大阪市中央区

(10)申请公布号 CN107148568B

(43)申请公布日 2024.07.10

(72)发明人 小山裕;五井广一

(74)专利代理机构 上海光华专利事务所(普通合伙)

代理人 梁海莲

(51)Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

(54)发明名称

使用THz频段的检查装置

(57)摘要

本发明的检查装置(1)具备:THz波照射

部(3),其对被检查物(2)照射THz波;THz波探测部(5),其检测被照射到被检查物(2)上的THz波的透射波(4)或反射波(22);以及信息处理部(10),其基于被照射THz波的被检查物(2)的透射波(4)或反射波(22)的强度数据,得到被检查物(2)的透射波(4)或反射波(22)的强度分布,信息处理部(10)获取透射波(4)或反射波(22)的二维强度分布,通过对检测没有附着异物(7)的被检查物

(2)时得到的强度分布与在检查时检测被检查物(2)时得到的检查时强度分布进行比较,来检测在检查时的被检查物(2)上是否附着有异物(7)。被检查物例如是纸张类。对于附着在被检查物上的异物(7),信息处理部(10)也可以根据基于异物(7)的折射率与没有附着异物(7)的被检查物(2)的折射率之差的透镜效应而产生的强度变化来检测。

法律状态

法律状态公告日

2017-09-08 2017-09-08 2017-09-08 2017-10-24 2017-10-24 2024-07-10

法律状态信息

公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

法律状态

公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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使用THz频段的检查装置

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利说明(21)申请号CN201580055107.9(22)申请日2015.10.09(71)申请人劳雷尔精机株式会社地址日本国大阪府大阪市中央区(10)申请公布号CN107148568B(43)申请公
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