MEMS麦克风及其制作方法

由天下分享时间：2024/12/12 13:24:41 加入收藏我要投稿点赞

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201310161050.3 （22）申请日 2013.05.03

（71）申请人歌尔声学股份有限公司

地址 261031 山东省潍坊市高新技术产业开发区东方路268号

（10）申请公布号 CN103281659A

（43）申请公布日 2013.09.04

（72）发明人蔡孟锦

（74）专利代理机构北京鸿元知识产权代理有限公司

代理人陈英俊

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（54）发明名称

MEMS麦克风及其制作方法

（57）摘要

本发明提供一种MEMS麦克风和制作方

法，包括基底、背极板、振膜、绝缘层、支撑层和电极；背极板包括第一背极板和第二背极板，绝缘层包括第一绝缘层、第二绝缘层和第三绝缘层，支撑层包括第一支撑层和第二支撑层。第一绝缘层设置在基底和第一背极板之间，第二绝缘层设置在第一背极板的上方。第一支撑层设置在第二绝缘层和振膜之间，第二支撑层设置在振膜和第三绝缘层之间，在振膜上设置有向第二绝缘

层方向延伸的振膜突出件，在第三绝缘层上设置有向振膜方向延伸的绝缘层突出件；第二背极板设置在第三绝缘层上方；电极分别设置在第一背极板和第二背极板上。本发明提供的MEMS麦克风和制作方法，能够解决总谐波失真值、振膜与背极板黏粘和短路的问题。

法律状态

法律状态公告日

2013-09-04 2013-09-04 2013-10-09 2013-10-09 2015-12-23 2015-12-23 2016-10-19 2016-10-19 2020-06-26

法律状态信息

公开公开

实质审查的生效实质审查的生效授权授权

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

专利申请权、专利权的转移

法律状态

公开公开

实质审查的生效实质审查的生效授权授权