1064 nm激光平板偏振膜的研制
贺才美;陈德江;涂建军;缪金义;陈忠;杜亚清
【期刊名称】《激光与红外》 【年(卷),期】2009(039)012
【摘要】根据军用光学仪器的使用要求,在平板K9基底上镀制偏振膜,要求在56.4°角入射条件下,激光波长1064 nm处满足T_P>99%,T_S<1%,且膜层抗激光损伤阈值应≥600 MW/cm~2.采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统,通过选择HfO_2和SiO_2作为高低折射率材料,利用Macleod软件进行膜系设计与分析,采用LightRatioPeak光值比例法进行监控,优化工艺参数,减少监控误差,在平板K9基底上成功镀制符合使用要求的偏振膜.所镀膜层不仅满足光谱要求,且顺利通过膜层环境测试,完全满足军用光学仪器的使用要求. 【总页数】4页(1337-1340)
【关键词】光学薄膜;平板偏振膜;真空镀膜;离子辅助沉积;激光损伤阈值 【作者】贺才美;陈德江;涂建军;缪金义;陈忠;杜亚清
【作者单位】江苏曙光光电有限责任公司光学制造部,江苏,扬州,225009;江苏曙光光电有限责任公司光学制造部,江苏,扬州,225009;江苏曙光光电有限责任公司光学制造部,江苏,扬州,225009;江苏曙光光电有限责任公司光学制造部,江苏,扬州,225009;江苏曙光光电有限责任公司光学制造部,江苏,扬州,225009;江苏曙光光电有限责任公司光学制造部,江苏,扬州,225009 【正文语种】中文 【中图分类】O484.1 【相关文献】
1064 nm激光平板偏振膜的研制
1064nm激光平板偏振膜的研制贺才美;陈德江;涂建军;缪金义;陈忠;杜亚清【期刊名称】《激光与红外》【年(卷),期】2009(039)012【摘要】根据军用光学仪器的使用要求,在平板K9基底上镀制偏振膜,要求在56.4°角入射条件下,激光波长1064nm处满足T_P>99%,T_S<1%,且膜层抗激光损伤阈值应≥600M
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