MEMS麦克风结构及其形成方法

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利说明书

（21）申请号 CN201110061561.9 （22）申请日 2011.03.15

（71）申请人 迈尔森电子(天津)有限公司

地址 300381 天津市南开区宾水西道奥城商业广场A3-518室

（10）申请公布号 CN102158789B

（43）申请公布日 2014.03.12

（72）发明人 柳连俊

（74）专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司

代理人 骆苏华

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

MEMS麦克风结构及其形成方法

（57）摘要

一种MEMS麦克风及其形成方法，其

中形成方法包括：第一基底，所述第一基底具有第一粘合面，所述第一基底包括MEMS麦克风组件和位于第一粘合面的第一导电粘合结构；第二基底，所述第二基底具有第二粘合面，所述第二基底包括电路和位于第二粘合面的第二导电粘合结构；所述第一基底和第二基底通过所述第一导电粘合结构和所述第二导电粘合结构面对面贴合。本发明实施例的封装工艺简单、体积小、形成的MEMS麦克风封装结构信噪比性能优良，抗干扰能力

高。 法律状态

法律状态公告日

2011-08-17 2011-09-28 2014-03-12

公开

实质审查的生效 授权

法律状态信息

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