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硅烷安全技术说明书
第一部分 化学品名称及企业标识
化学品中文名称：硅烷 甲硅烷 化学品俗名：四氢化硅
化学品英文名称：silane
英文名称：silicon tetrahydride 化学式：SiH4 技术说明书编码：1039 CAS No.：7803-62-5
第二部分：成分/组成信息
成分 硅烷
化学式 SiH4 含量(%) 99.9999 第三部分：危险性概述
危险性类别： 侵入途径：
健康危害： 吸入甲硅烷蒸气后，引起头痛、头晕、发热、恶心、多汗；严重者面色苍白、脉搏微弱、昏迷。 环境危害：
燃爆危险： 本品易燃，有毒。
第四部分：急救措施
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皮肤接触： 眼睛接触：
吸入： 迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。 食入：
第五部分：消防措施
危险特性： 与空气混合能形成爆炸性混合物。遇明火、高热极易燃烧爆炸。暴露在空气中能自燃。与氟、氯等接触会发生剧烈的化学反应。 有害燃烧产物： 氧化硅、氢气。
灭火方法： 消防人员须佩戴防毒面具、穿全身消防服，在上风向灭火。切断气源，若不能切断气源，则不允许熄灭泄漏处的火焰。尽可能将容器从火场移至空旷处。喷水保持火场容器冷却，直至灭火结束。灭火剂：水、泡沫、干粉、二氧化碳。
第六部分：泄漏应急处理
应急处理： 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防静电工作服。从上风处进入现场。尽可能切断泄漏源。喷雾状水稀释。如有可能，将残余气或漏出气用排风机送至水洗塔或与塔相连的通风橱内。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。
第七部分：操作处置与储存
操作注意事项： 密闭操作，全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具（半面罩），戴化学安全防护眼镜，穿防静电工作服，戴乳胶手套。远离火种、热源，工作场所严禁吸烟。使用防爆型的通风系统和设备。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂、碱类、卤素接触。在传送过程中，钢瓶和容器必须接地和跨接，防止产生静电。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。
储存注意事项： 储存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。钢瓶温度不应超过52℃。保持容器密封。应与氧化剂、碱类、卤素、食用化学品分开存放，切忌混储。采用防爆型照明、通风设施。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄漏应急处理设备。
第八部分：接触控制/个体防护
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中国MAC(mg/m3)： 未制定标准
前苏联MAC(mg/m3)： 未制定标准 TLVTN： ACGIH 5ppm,6.6mg/m3 TLVWN： 未制定标准 监测方法：
工程控制： 生产过程密闭，全面通风。
呼吸系统防护： 空气中浓度超标时，建议佩戴自吸过滤式防毒面具（半面罩）。紧急事态抢救或撤离时，应该佩戴空气呼吸器。
眼睛防护： 戴化学安全防护眼镜。 身体防护： 穿防静电工作服。 手防护：
戴乳胶手套。
其他防护： 工作现场严禁吸烟。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。
第九部分：理化特性
外观与性状： pH：
无色气体，有恶臭。
熔点(℃)： -185 相对密度(水=1)： 0.68/-182℃ 沸点(℃)： -112
相对蒸气密度(空气=1)： 无资料 分子式： 分子量： 32.12
主要成分： 纯品
饱和蒸气压(kPa)： 无资料 燃烧热(kJ/mol)： 无资料
临界温度(℃)： 无资料 临界压力(MPa)： 无资料
辛醇/水分配系数的对数值： 无资料
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SiH4
硅烷安全技术说明书MSDS
