光学位置测量装置

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利说明

（21）申请号 CN201410719523.1 （22）申请日 2014.09.11

（71）申请人 约翰内斯·海德汉博士有限公司

地址 德国特劳恩罗伊特

（10）申请公布号 CN104457571B

（43）申请公布日 2018.10.12

书

（72）发明人 W·霍尔茨阿普费尔

（74）专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公司

代理人 徐予红

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

光学位置测量装置

（57）摘要

本发明涉及用于探测整体量具和至少一个

可沿着至少一个测量方向彼此相对运动的探头的相对位置的光学位置测量装置。所述光学扫描装置是这样地设计，使得扫描装置的有效测量点位于在背向探头定向的方向上与整体量具隔开定义的距离上。

法律状态

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态

法律状态公告日

2015-03-25 2015-03-25 2016-07-20 2016-07-20 2018-10-12

公开 公开

法律状态信息

公开 公开

法律状态

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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