共聚聚硅氮烷、其制造方法以及包含其的组合物以及使用了其的二氧

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201580020707.1 （22）申请日 2015.04.22

（71）申请人 AZ电子材料(卢森堡)有限公司

地址 卢森堡卢森堡

（10）申请公布号 CN106232687A

（43）申请公布日 2016.12.14

（72）发明人 山川纯;藤原嵩士;神田崇;青木宏幸 （74）专利代理机构 北京三幸商标专利事务所(普通合伙)

代理人 刘淼

（51）Int.CI

C08G77/62; C01B33/12; C09D183/16; H01L21/312;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

共聚聚硅氮烷、其制造方法以及包含其的组合物以及使用了其的二氧化硅质膜的形成方法 （57）摘要

一种共聚聚硅氮烷，其至少具有由通式

(I)：?Si(R

法律状态

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法律状态公告日

2016-12-14 2016-12-14 2017-01-11 2017-01-11 2017-05-31 2017-05-31 2024-07-07

权利要求说明书

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