02-XPS表面分析方法 材料研究方法

表面分析方法

前言

X－射线光电子能谱（XPS 俄歇能谱（AES） 二次离子质谱仪（SIMS） 扫描电镜（SEM）等

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物质的表面分析包括如下内容

1. 物质表面层元素的化学组成和浓度深度分布的定性、定量分析；

2. 物质表面层元素间的结合状况和结构分析；3. 物质表面层的状态，表面和吸附分子的状态，吸附的二维周期性等的测定；

4. 物质表面层物性（催化活性、反应能力、抗

蚀性等）的测定

表面分析实验的基本形式

激发源 试样表面 信息 检测器 整理放大 指示/记录 或

图像 获取以激发源（有离子、电子、光子、中性粒子等）与固体表面相互作用后产生的各种信息

表面分析中常用的各种探针及从表面射出的各种粒子