制备隧穿氧钝化接触结构的快速退火方法

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201910311808.4 （22）申请日 2019.04.18

（71）申请人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所

地址 315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号

（10）申请公布号 CN110165017A

（43）申请公布日 2019.08.23

（72）发明人 廖明墩;叶继春;曾俞衡;闫宝杰;杨清;张志;郭雪琪;黄玉清;王志学 （74）专利代理机构 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙)

代理人 周民乐

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

制备隧穿氧钝化接触结构的快速退火方法

（57）摘要

本发明提供一种制备隧穿氧钝化接触结构

的快速退火方法，步骤包括：(1)预热：将待退火样品在工艺气体下，升温到150?250℃，保温1?2min；(2)释氢：然后升温到300?600℃，保温3?10min；(3)晶化：再升温到780?1100℃，并保温1?15min；(4)冷却：2?5分钟降温至600℃以下。本发明通过温度控制，使样品有效避免了“爆膜”现象的发生又通过氢钝化提高硅衬底的体寿命，同时薄膜中的掺杂原子也得到充分激