PECVD含钨硬掩模膜及制造方法

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201780006715.X （22）申请日 2017.01.13 （71）申请人 应用材料公司

地址 美国加利福尼亚州

（10）申请公布号 CN108463870A

（43）申请公布日 2024.08.28

（72）发明人 S·S·罗伊;P·曼纳;程睿;A·B·玛里克 （74）专利代理机构 上海专利商标事务所有限公司

代理人 汪骏飞

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

PECVD含钨硬掩模膜及制造方法

（57）摘要

描述了形成钨膜的方法，包含以下步骤：

在氧化物表面上形成硼籽晶层、在硼籽晶层上的任选的钨起始层以及在硼籽晶层或钨起始层上的含钨膜。还描述了包含氧化物表面上的硼籽晶层以及任选的钨起始层和含钨膜的膜堆叠。

法律状态

法律状态公告日

2024-08-28

公开

法律状态信息

公开

法律状态

法律状态公告日

2024-08-28 2024-11-13

公开

法律状态信息

公开

实质审查的生效

法律状态

实质审查的生效

权利要求说明书

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