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v1.0 可编辑可修改 C自来水进水P取样F保安过滤器不合格排放PPcP原水箱原水泵机械过滤器活性炭过滤器软水器盐箱高压泵反渗透装置FPR紫外线紫外线杀菌灯杀菌灯RF化学计量泵用水点纯水出口FF风机调压阀PPP过滤器不合格排放PFI循环泵0.1um过滤器氮气瓶FkC浓水回流或排放Fk极水浓水纯水抛光混床超纯水泵氮封超纯水箱极水排放二级EDI膜堆0.2um过滤器纯水泵脱气水箱符号说明:不合格排放PPcFRCFK电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表流变控制开关
图 3 常用的一级RO+二级EDI+MB 电子I级超纯水系统工艺配置图
适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率18～Ω·cm的超纯水系统
v1.0 可编辑可修改 C保安过滤器不合格排放PPc原水箱原水泵机械过滤器活性炭过滤器软水器盐箱高压泵FP反渗透装置化学计量泵取样FR用水点P紫外线杀菌灯紫外线杀菌灯RF纯水出口调压阀P自来水进水P不合格排放0.1um过滤器氮气瓶FPFPP过滤器FI风机循环泵Fk浓水回流或排放CFk极水浓水纯水超纯水泵符号说明:氮封超纯水箱极水排放二级EDI膜堆0.2um过滤器不合格排放纯水泵脱气水箱P电磁阀球阀止回阀压力表Pc压力控制器FRCFK流变控制开关流量计电阻率表电导率表
图 4常用的一级RO+二级EDI电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图
适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率（小于1000μs/cm），要求产水电阻率15～18MΩ·cm的超纯水系统
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v1.0 可编辑可修改 C自来水进水FCPFFP不合格排放排放快速过滤器P超滤装置PPc高压泵反洗排放水P反渗透装置原水箱原水泵FR用水点P紫外线杀菌灯紫外线杀菌灯化学计量泵RF不合格排放0.1um过滤器氮气瓶P纯水出口调压阀FPFPP过滤器循环泵风机Fk浓水回流或排放CFk极水浓水纯水抛光混床超纯水泵符号说明:氮封超纯水箱极水排放二级EDI膜堆0.2um过滤器不合格排放纯水泵纯水箱P电磁阀球阀止回阀压力表Pc压力控制器FRCFK流变控制开关流量计电阻率表电导率表
图 5 常用的一级RO+二级EDI电子+MB 电子I级超纯水系统工艺配置图
适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率18～Ω·cm的超纯水系统
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v1.0 可编辑可修改 C自来水进水FCPFFP不合格排放排放快速过滤器P超滤装置PPc高压泵反洗排放水P反渗透装置原水箱原水泵FR用水点P紫外线杀菌灯紫外线杀菌灯化学计量泵RF不合格排放0.1um过滤器氮气瓶P纯水出口调压阀FPFPP过滤器循环泵风机Fk浓水回流或排放CFk极水浓水纯水超纯水泵符号说明:氮封超纯水箱极水排放二级EDI膜堆0.2um过滤器不合格排放纯水泵纯水箱P电磁阀球阀止回阀压力表Pc压力控制器FRCFK流变控制开关流量计电阻率表电导率表
图 6 常用的一级RO+二级EDI电子Ⅱ级超纯水系统工艺配置图
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v1.0 可编辑可修改 适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高（小于1000μs/cm），要求产水电阻率15～18MΩ·cm的超纯水系统
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超纯水系统工艺流程图
