IR 090
热阴极电离复合真空计
使 用 说 明 书
BG 804 171 BE
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目录
产品标识 有效范围 使用范围 工作原理 注册商标 1 安全 1.1 使用符号 1.2 人员素质 1.3 一般安全规则 1.4 赔偿责任与保修 2 技术参数 3 安装 3.1 真空连接 3.1.1 拆卸和安装电子学单元 3.1.2 安装延伸件 3.2 电源连接 3.2.1 与COMBIVAC IT23一起使用 3.2.2 与其它测量仪器一起使用 4 运行 4.1 测量原理，测量特性 4.2 真空计工作原理 4.3 除气 4.4 显示器 4.5 RS232C接口 4.5.1 功能说明 4.5.1.1 IR090输出 4.5.1.2 IR090输入 5 维护 5.1 维护 5.2 真空计调整 5.3 真空计清洗 5.4 安装障板 5.5 更换障板 5.6 更换规管 5.7 故障查找 6 拆卸 7 产品返修 8 附件 9 备件 10 废物处理 附录
A. 测量讯号与压强的关系 B. 气体种类与压强的关系 污染申报表
参阅本说明书中的章节，采用符号（→XY）。参阅其它文献，采用符号（→［Z］）。
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产品标识
有效范围
使用范围
工作原理 性。
注册商标
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与Leybold Inficon联系时，请标明产品标牌上给出的信息。将信 息复制在标牌的复印件上。
本说明书适用于下列件号的产品 不带显示器 120 90 （法兰DN 25 ISO-KF）
120 92 （法兰DN 40 CF-R） 带显示器 120 91 （法兰DN 25 ISO-KF）
120 94
（法兰DN 40 CF-R）
产品的件号在标牌上标明。
本公司保留对说明书不预先通知的技术更改权。
IR090用于在压强5×10-10…1000毫巴范围内非易燃性气体和气体混合物的真空测量。
真空计规管是SKY Smart真空计规管系列的一个组成部分。可 与COMBIVAC IT23或其它测量仪器一起工作。
在整个测量范围内，热阴极电离复合真空计有连续的测量特
它的测量讯号是对数压强输出。
真空计的功能包括BA规热阴极电离测量系统（用于p＜2.0×10-2
毫巴）和皮拉尼测量系统（用于p＞5.5×10-3毫巴）。在2.0×10-2 毫巴至p＞5.5×10-3毫巴的交叉压强范围内，输出两个测量系统 的混合讯号。只有当皮拉尼测量系统的压强低于2.4×10-2毫巴 的阈值时，才能转换至热阴极测量系统（防止灯丝烧断）。当压 强超过3.2×10-2毫巴时切断电源。
Combivac Leybold SKY Leybold Inficon
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1 安全
1.1 使用符号
危险
1.2 人员素质
1.3 一般安全规则
欢迎下载 有关防止任何人身伤害的信息。 警告 有关防止设备和环境损伤的信息。 注 有关正确掌握或使用的信息。如不注意可导致设备故障或局部损伤。
提示，建议
技术熟练的人员 本说明书中涉及的全部工作必须由经过技术培训、有经验的或由产品的最终用户委派的人员执行。 ? 遵守安全使用规则，对过程介质采取必要的预防措施。 注意材料（→第7页）与过程介质之间可能的反应。 注意用于产品产生的热导致过程介质可能产生的反应。 ? 全部工作必须在遵守安全使用规则和必要的预防措施下进 行。注意本说明书中的安全要点。
? 在开始工作前，检查是否有被污染的真空元件。当处理被污
染的元件时，遵守有关的规程和采取必要的预防措施。
与其它用户交流安全方面的经验。
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1.4 赔偿与保修责任 如最终用户或第三方有以下情况，Leybold Inficon将不承担赔偿
欢迎下载 与保修责任。 ? 不理会本说明书中的要求 ? 在不适当的状态下使用本产品 ? 对产品作任何变动（修改，更改等） ?
使用不是相应产品文件中所列的附件
对所使用的过程介质，由最终用户负责。
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BPG400 真空规管中文手册
