双纵模He-Ne激光无导轨大尺寸测量仪研究
张涛;杨春生;周肇飞
【期刊名称】《红外与激光工程》 【年(卷),期】2006(035)0z3
【摘要】一种基于拍波干涉原理的无导轨大尺寸测量系统已研制成功.它以双纵模热稳频He-Ne激光为光源,其两纵模生成于同一振腔内具有天然同轴的优势,在整个测量范围内不会发生光束分离.两纵模频差约790MHz,拍波波长约380 mm.其稳定度(即拍波波长稳定度)与激光频率稳定度相同,在无空调并有冷热气流吹拂时可保证不低于10-7.两纵模频差以拍波节点为对准标志,采用自适应滤波和小波锐化器有效滤除噪声,从而提高了节点检测的测量精度.测量起点和终点到最近节点的距离由同一光源分出来的双频干涉仪精确测定,分辨力为0.08 μm.经实验验证:系统的测量范围大于20m,测量不确定度优于30 μm/10m. 【总页数】5页(60-64)
【关键词】大尺寸;拍波;双纵模;节点;不确定度 【作者】张涛;杨春生;周肇飞
【作者单位】四川大学,激光应用研究所,四川,成都,610065;四川大学,激光应用研究所,四川,成都,610065;四川大学,激光应用研究所,四川,成都,610065 【正文语种】中文 【中图分类】TH744.3 【相关文献】
1.双纵模He-Ne激光单模干涉在大尺寸测量中的研究 [J], 吴斌; 喻洪平; 莫莉 2.双纵模激光作无导轨大尺寸精密测量 [J], 周肇飞; 吴斌
3.多种大尺寸测量仪器测量坐标系统一研究 [J], 殷义勇; 郭一鸣 4.He-Ne拍波激光干涉仪的研究 [J], 朱目成; 周肇飞; 张涛
5.用迈克尔逊干涉仪测量He-Ne激光波长的测量不确定度分析 [J], 王潮; 李霄洋; 王丽香
以上内容为文献基本信息，获取文献全文请下载
双纵模He-Ne激光无导轨大尺寸测量仪研究
