（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利说明
（21）申请号 CN201680054552.8 （22）申请日 2016.06.24
（71）申请人 株式会社斯库林集团;国立大学法人大阪大学
地址 日本京都府
（10）申请公布号 CN108027236B
（43）申请公布日 2019.12.17
书
（72）发明人 高濑惠宏;中西英俊;木濑一夫;河野元宏;川山巌;斗内政吉 （74）专利代理机构 隆天知识产权代理有限公司
代理人 向勇
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
膜厚测量装置及膜厚测量方法
（57）摘要
提供一种在锂离子电池的制造工序中，以
非接触的方式进行膜的膜厚检查的技术，该膜包括形成于集电体的活性物质材料。膜厚测量装置(1)具有：太赫兹波照射部(10)，向样品(9)照射太赫兹波(LT1)；反射波检测部(30A)，具有用于检测被样品(9)反射的太赫兹波(LT1)的反射波(LT3)的光传导开关(34A)。膜厚测量装置(1)具有：时间差获取模块(509)，获取由反射波检测部(30A)检测出的反射波(LT3)中的表面反射波
(LT31)与界面反射波(LT32)到达光传导开关(34A)的时间差(Δt)，该表面反射波(LT31)是被样品(9)的活性物质膜(91)的表面反射的波，该界面反射波(LT32)是被样品(9)的活性物质膜(91)与集电体(93)的界面反射的波；膜厚计算部(511)，基于时间差(Δt)及活性物质膜(91)的折射率(n
法律状态
法律状态公告日
2018-05-11 2018-05-11 2018-05-11 2018-06-05 2018-06-05 2019-12-17
法律状态信息
公开 公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效 授权
法律状态
公开 公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效 授权
权利要求说明书
膜厚测量装置及膜厚测量方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看
膜厚测量装置及膜厚测量方法
