半导体工厂冷水系统节能项目及管理

半导体工厂冷水系统节能项目及管理

张亚斌

【期刊名称】《科技创新导报》 【年(卷),期】2024(016)027

【摘要】随着近年来我国科学技术水平的快速发展,各类电子工业领域的生产和制造技术也获得了显著提升.半导体电子元器件的生产、制造和加工过程能够直接影响到我国电子信息产业的发展水平,更能带来巨大的经济效益.在半导体工厂的生产制造过程中,冷水系统作为重要的辅助类型系统之一,其提供的水蓄冷和设备冷却水预冷这两种典型节能功能能够有效帮助半导体材料加工实现效率和质量的双重提升.本文结合半导体工厂冷水系统及其相关设备的节能特性,从整体项目管理方式的角度入手进行深入的研究与分析,希望以此为后续的类似项目工程提供一定的参考依据. 【总页数】2页(176,178)

【关键词】半导体工厂; 冷水系统; 节能管理; 效果评价 【作者】张亚斌

【作者单位】西安卫光科技有限公司 陕西西安 710065 【正文语种】中文 【中图分类】TU831.3 【相关文献】

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