薄膜厚度检测原理及系统

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每隔200扫描一次。进入薄膜边界之前，扫描所得图形是带有细微突起或者凹

陷的曲线，整体上表现为水平;进入边界区域后，图形崎岖不平，带有一定的斜率；过了边界区域后，图形整体呈现水平。通过扫描得到的轮廓图像寻找薄膜边界，然后选择合适的扫描起点，使图像包含完整边界，然后对同一区域前后扫描两次。有实验图像可以得出结论，表明了系统良好的重复性。

通过对样品的实验结果表明，该薄膜厚度检测系统具有很好的重复性、稳定性，易于操作，自动化程度比较高，不易损伤样品。它不仅精度高，而且工作范围大，可以连续或者不连续地在很大的范围内搜索薄膜边界，具有很强的定位能力本系统具有测量方法简便，实时性好、无损及测量精确等特点。

本文中设计的AFM系统测量薄膜厚度的这种方法可克服目前一些己有的膜厚测量方法中的问题及局限性，结构简单，数字化、自动化程度高，操作和维护都比较容易。

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精品

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