纳米金属颗粒—绝缘体膜制备的研究

纳米金属颗粒—绝缘体膜制备的研究

赵子强;韦伦存

【期刊名称】《功能材料》 【年(卷),期】1996(027)006

【摘要】本文介绍了一台利用磁控溅射产生金属团簇，同时蒸发绝缘介质得到金属颗粒－绝缘体包埋团簇的设备，并利用该设备成功地制备出了Ｃｕ：ＣａＦ２和Ｔｉ：ＣａＦ２等金属颗粒膜。该设备适应性广，可产生几乎所有固体金属和半导体团簇。从而可以得到众多组合的功能膜。包埋在绝缘体中的团簇大小在１０ｎｍ－７０ｎｍ之间，为多晶结构；基质ＣａＦ２也为多晶。 【总页数】2页(534-535)

【关键词】包埋团簇;晶体结构;金属粒;薄膜 【作者】赵子强;韦伦存

【作者单位】北京大学技术物理系重离子物理研究所;北京大学技术物理系重离子物理研究所 【正文语种】英文 【中图分类】O484.1 【相关文献】

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