一、 目的:规固晶机工程师日常工作,确保产品质量的提高及工作 效率
的提升。
二、对象:固晶机工程师 三、容:
1. 机械构成及维修
1.1 芯片控制器:由芯片工作台和推定器组成 1.1.1. 芯片工作台主要由X、Y、B马达和扩晶环固定座组成
X 、丫马达控制Ahead晶片时,移到当前晶片位置,B马
达是控制晶片的旋转角度, 当启动工作台启动旋转功能后
0马达开始工作,当Ahead当前晶片角度偏移量大于我们 设
定值时,0马达会自动补偿角度偏差值。
1.1.2.
推顶器主要由顶针、顶针帽、推顶马达和 XY位置调整 螺丝组成, 顶针是工作中顶起晶片, 晶片离开蓝膜使吸嘴
容易吸起晶片,顶针型号为 0.022 X 10X 17MM顶针的目 使用寿命为1KK当顶针拆损或者达到使用寿命后需要及 时更换。推顶马达是来顶起顶针,新更换顶针后,一般顶 起主度不超过 2300,如果顶起高度小于 2000 时,需调整 推顶马达推顶位置, 松开推顶马达固定推顶位置螺丝, 可以用六角棒调整推顶初始位置。 顶针帽是保护顶针受到 外力损坏。XY位置调整螺丝是用来调整顶针位置,使顶针
顶起芯片在中心点
1.2. 工作夹具:由叠式载具、工作夹具、输入 /输出升降机组成
1.1.1 叠式载具由 Load Left Pin、 Load right Pin 、Separater
和下料盒马达组成, Load Left Pin 和 Load right Pin
22000,
是用来调整支架接触时的中心点,一般中心点为
当马达失步时,需要对此中心点进行调整。 Separater 是 支架接触到 Load Left Pin 和 Load right Pin 后,用来 分离支架,可以调整进出气压大小来调整 Separater 速 度,X方向行程不可以调整,Y方向行程可以拆开叠式载 具面板,用六角扳手调整行程。下料盒马达是用来控制 Load Left Pin 和 Load right Pin 动作,需定期对其进 行保养,不然会造成下料不顺畅或者卡料。
1.1.2 工作夹具由 Feed Pin 、Input Pin 、Output Pin 和 Output
Kick 组成。进入 Setup宀Device 宀Indexing Setup 调整
送爪间的配合, Feed Pin 和 Input Pin 主要影响支架送 到点胶和固晶位置的初始点, Output Pin 主要影响 Input Pin 和 Output Pin 配合时拉杯位置的一致性。
1.1.3 输入/输出升降机 进料口现在采用叠式载具, 输入升降机主
要应用在双晶片 上面,故没有使用。输出升降机由 YZ 两个马达构成, YZ 马达错位或者中心点偏移会造成卡支架,需定
期保养 马达,以免造成声音异常和马达失步。
2. 点胶注射器及焊头
2.1. 点胶注射器由点胶盘、点胶盘马达、点胶头、点胶 XYZ 动作马 达组
成。点胶盘储存一定胶量,保证持续使用,要求点胶盘表面 的平整性,使点胶有均匀性。点胶盘马达使用 24V 电压,要求 点胶盘阻力和点胶盘轴承阻力小, 避免点胶盘马达线圈烧坏。 点 胶头把胶水从点胶盘点到碗杯,点胶顶部长度为
80um, —般使
用掉 1/3 后需要更换点胶头,使点胶具有均匀性和集中性。点 胶
XYZ 动作马达是控制点胶头的动作过程, 为了保证马达正常, 每个
月需要对其定期保养。
2.2. 焊头由吸嘴、焊臂、气体、马达组成。 吸嘴是吸起晶片和固定晶片
的作用,吸嘴使用的型号有 0.10
X 0.3 .13X 0.3、0.15 X0.3、0.175 X 0.35 四种型号,根据不
同的产品选择吸嘴,吸嘴寿命为500K。焊臂是核心部件,焊 臂的连接部位的间隙为20um当人为撞坏焊臂时,须对此项 进行校正,焊臂的水平校正:装好冶具,关掉电源,用复印 纸加白纸垫在顶针帽上,然后打开电源,手动拧动焊臂,并 在复印纸上压一个痕迹,检查痕迹的轻重,根据痕迹的轻重 来调整焊臂的水平调整螺丝,直到痕迹轻重一样。气体是用 来吸取晶片和吹吸嘴用,弱气太大会影响造成胶飞,弱气太 小易造成晶片反吸。马达是用来控制焊臂动作的,为了保证 马达正常,每个月需要对其定期保养。
3. 光学系统: Bond optical system 和 Dispense optical 校正 3.1. 把校准镜片放在光学镜头的下方, Error!Reference source not found
32 进入 Setups Vision & Optics 宀Bond Alignment Setup 选择 Field Of View 按[Enter]在‘ 2x 2mrh, ‘3x 3mrh, ‘4X4mm, 之间转
换。
3.3.
我们选择3X 3,然后
按Enter确定,记下来你可以看到PR监 视中的率色方框, 手动调节光学系统焦距和放大倍数直至可以看 到较大的包含3X 3方框,调节镜片位置和光线直至方框获得清 晰的图像,再次按Enter确认,
PRS将检查和识别校准镜片的图 像以确定视为视界与你的设定相匹
配,如果
再次进行精密调节和校准。
4. 电路构成及维修
PR校准未成功,应
4.1. PC 监控器:由伺服驱动箱,马达驱动 I/O 箱和电脑主机组成 4.1.1.
伺服驱动箱由点胶、固晶、输入 /输出料盒 XYZ 马达驱动 电
路组成
4.1.2.
马达驱动 I/O 箱由各种数 /模、模/数转换、信号通道, 信号
分配接口组成
4.1.3.
电脑主机由系统软件、应用软件和硬件部分组成,系统软
件使用的 是 Windows 操作系统, 应用软件是 Controller Software
V5.47T03( 升级 前 使用 的 旧 版 本是 Controller Software V5.43T03)、硬件是键盘、主板、 4.2. PRS PC:光学系统和电脑主机组成 4.2.1.
CPU存。
光学系统 CCD 摄像机的工作原理是:被摄物体反射光线, 传
播到镜头,经镜头聚焦到 CCD 芯片上, CCD 根据 光的强弱积聚相应的电荷,经周期性放电,产生表示一幅幅画 面的电信号,经过滤波、放大处理,通过摄像头的输出端子输 出一个标准的复合视频信号。摄像机对我们生产中目前影响最 大的就是角度,摄像机角度偏转时爪取晶片也会偏。
4.2.2.
电脑主机由系统软件、应用软件和硬件部分组成,系统软 件
使用的是 Windows 操作系统,应用软件是 Vision Software
V2.825,硬件是键盘、主板、CPU存。 4.3. 机器的软件系统安装升级 4.3.1. 4.3.2.
软件安装:版本升级和系统更新 系统设置:主板设置和磁盘备份 copy
4.4. 熟悉菜单及熟练应用
包含 Bond menu、Setup menu、SERV menu 和 Help menu 下面的 各项子菜单使用及应用(详细请见技术员培训资料)
5. 重要影响固晶项目 5.1. 吸嘴未及时更换:
会影响到机台吸晶及摆放晶片, 当吸嘴使用到一定的次数以后, 晶 片的摆放在角度上会有所偏差,这时即可考虑更换一支新的吸嘴
5.2. 顶针未及时更换: 影响到晶片的上吸,以致最后影响到晶片的摆
放。
5.3. 未做季保养的影响: 会造成机构生锈或脏污严重, 引起机构运转不顺, 影响机台运转与 生产。
ASM固晶资料全
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