S136不锈钢基体溅射氮化铬薄膜的硬度和接触角

S136不锈钢基体溅射氮化铬薄膜的硬度和接触角

王翠凤;邱锡荣;康爱军;梁家豪;黄文荣

【期刊名称】《机械工程材料》 【年(卷),期】2013(037)012

【摘要】在不同的S136不锈钢基体上溅射制备了氮化铬(CrN)薄膜,通过接触角的测量、硬度测试、扫描电子显微镜观察及X射线衍射分析等方法研究了基材的组织、方向性、表面粗糙度、表面机械加工方法及溅射偏压对CrN薄膜接触角和硬度的影响.结果表明:在溅射功率300W、施加-120V偏压、氩气和氮气流量比9∶1溅射条件下,可得到Cr2N单相薄膜,呈现(111)面择优取向;溅射CrN薄膜显著提高S136不锈钢表面硬度和接触角;溅射时施加负偏压的CrN薄膜接触角明显大于未施加的;基材杂质少、碳化物细小、研磨后抛光、施加负偏压的纵向试样溅射CrN薄膜后硬度较高(1 177 HV)、接触角较大(98.77°). 【总页数】6页(21-26)

【关键词】CrN薄膜;接触角;S136不锈钢 【作者】王翠凤;邱锡荣;康爱军;梁家豪;黄文荣

【作者单位】福建信息职业技术学院,福州350003;高雄应用科技大学模具工程系,高雄80706;东北特殊钢集团技术中心工模具钢研究室,抚顺113001;高雄应用科技大学模具工程系,高雄80706;高雄应用科技大学模具工程系,高雄80706 【正文语种】中文 【中图分类】TG142.45 【相关文献】

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