MEMS开关设备和制造方法

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201410367891.4 （22）申请日 2014.07.30 （71）申请人 亚德诺半导体集团

地址 百慕大群岛(英)哈密尔顿

（10）申请公布号 CN104347320A

（43）申请公布日 2015.02.11

（72）发明人 J·G·麦克纳马拉;P·L·菲兹格拉德;R·C·格金;B·P·斯坦森 （74）专利代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人 郭思宇

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

MEMS开关设备和制造方法

（57）摘要

本发明涉及MEMS开关设备和制造方法。

一种微机电系统(MEMS)开关设备，包括：基材层；在所述基材层上形成的绝缘层；以及具有在所述绝缘层的表面上形成的多个触点的MEMS开关模块，其中，所述绝缘层包括在绝缘层内形成的多个导电路径，所述导电路径被配置成相互连接所述MEMS开关模块的所选触点。

法律状态

法律状态公告日

2015-02-11 2015-02-11 2015-03-18 2015-03-18 2018-02-13

公开 公开

法律状态信息

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实质审查的生效 实质审查的生效 授权

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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