1.064 μm脉冲激光作用下SiO2薄膜纹波损伤的模拟

1.064 μm脉冲激光作用下SiO2薄膜纹波损伤的模拟

袁晓东;田东斌;王毕艺;李绪平;郑万国;祖小涛;向霞;蒋晓东;尹烨;徐世珍;郭袁俊

【期刊名称】《强激光与粒子束》 【年(卷),期】2008(020)003

【摘要】用1.064 μm波长的单脉冲(6 ns)激光对K9玻璃基底上电子束沉积的单层SiO2薄膜进行了辐照损伤实验.以扫描电镜对K9基底的断面进行分析,并采用表面热透镜装置对膜层中的缺陷进行了检测,最后采用Matlab偏微分工具箱对缺陷的散射光光场进行了有限元模拟.实验研究表明:膜层中存在缺陷,基底中也存在大量缺陷.模拟研究表明:缺陷的位置越深,形成的条纹间距也越宽;当缺陷的形状不规则时,在局部出现近似平行的纹波结构;当缺陷的数目增加时,这些缺陷的散射光的叠加就形成相互叠加的条纹. 【总页数】4页(509-512)

【关键词】激光诱导损伤;SiO2薄膜;电子束蒸发;纹波损伤

【作者】袁晓东;田东斌;王毕艺;李绪平;郑万国;祖小涛;向霞;蒋晓东;尹烨;徐世珍;郭袁俊

【作者单位】中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;电子科技大学,物理电子学院,成都,610054;电子科技大学,物理电子学院,成都,610054;中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;电子科技大学,物理电子学院,成都,610054;中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;电子科技大学,物理电子学院,成都,610054;电子科技大学,物理电子学院,成都,610054;中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;电子科技大学,物理电子学院,成都,610054;电子科技大学,物理电子