特气紧急应变指导书 文件编号：QE-2011-EF-I049A
厂务紧急指导书
1 目的
本要领旨在制定重要设备出现异常时的紧急处理方法，以规范操作、最大限度降低因设备故障、品质超标、或供能停止对生产造成的损失及人员伤害。
2 适用范围
本预案包括以下动力重要设备（情况）的紧急处理： 1）供配电系统的紧急处理
2）纯水终端水质失格或供水停止的紧急处理 3）排水水质超标的紧急处理 4）药品供给系统重大故障的紧急处理 5）造排水系统化学药品泄漏的紧急处理 6）网络室空调的紧急处理 7）洁净室空调OAC故障的紧急处理 8）设备冷却水供水泵故障的紧急处理 9）HA、DA、HHA系统的紧急处理 10）大宗气体的紧急处理
3 相关、引用文件
TM-SF-A0003 [动力系统故障处理管理规范]
4 紧急处理预案
4.1 供配电系统的紧急处理
4.1.1供配电系统简介及对供电故障采取的对策：
公司内设有独立35KV/6KV中央变电站，采用四路35KV独立电源供电，四路独立电源同时供电，每路各供20000KVA；其中两路引自闵行供电公司春申站（电缆），两路引自闵行供电公司金都站（架空线）。
另外为防止电压瞬停对工艺设备造成影响，在6KV侧设置4套SSTS（快速切换开关），当线路中发生电压瞬停时，可在20ms内将负载切换到另一条线路上。
对最重要生产设备和工艺控制系统的供电，采用了4套600KVA的UPS供电，蓄电池保证10分钟供电。
编制部门：设备设施部 1 发布日期：2011年4月20日
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为防止外线路偶发性故障造成的局部断电，在6KV侧设置备自投保护，一旦局部断电，可自动将负载切换到邻近线路上，将断电对生产造成的影响降至最低。
为预防灾害性事故（地震、电网崩溃等）造成全部断电的情况发生，还设置2套3000KVA柴油发电机组，一旦四路外线路断电，机组在1分钟内启动并网，对部分失电将可能造成人身伤害的用电设备供电（车间应急照明、消防、部分空调系统、特气系统、部分设备的供压系统、化学药品输送系统等），以保证车间人员安全的撤离，但没有考虑对在制品和生产设备的保护。 4.1.2供配电系统中重要设备故障时对应预案：
1）主变压器故障：立即通过6KV侧联络开关将负载转移至其它主变下，对故障主变压器进行抢修；
2）终端变压器故障：可以通过低压侧母线联络开关将负载转移至相邻变压器下（切换前先计算负载是否超过变压器容量，如果过载，先停用部分不重要负载，保证重要用电设备继续使用）； 3）UPS故障，可以自动切换到旁路供电。 4.2 纯水终端水质失格或供水停止的紧急处理： 4.2.1 终端系统停止运行时的处理： 终端系统停水是指由于某种故障，终端超纯水供水泵停止运行，向洁净室的供水停止。 当现场巡视或SCADA监视发现终端停止运行时，应立即通知各部相关人员；并同时进行紧急处理。 终端系统停水的常见故障及解决方法如下表： 编号 1 故障 处理方法 备注 动力盘电源断电或由电工查找原因并异常 解决 查找压缩空气问题仪表压缩空气压力低 并解决，若短时间无法解决，可用终端氮气接临时管到压缩空气管道。 2 接氮气需备用软管。具体连接方法见附图1。 编制部门：设备设施部 2 发布日期：2011年4月20日
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当发现前处理系统故障3 UPW储槽液位低于LL 查找前处理系统故必将导致终端系统停水障并解决 时，应尽可能早地通知生产部门 开启备用泵时，泵出口阀4 UPW泵故障 开启备用泵 门应先关闭，待泵启动后，再缓慢开启阀门到设计流量。 恢复供水后，应及时通知生产部门。 4.2.2 终端供水水质失格的处理 供水水质失格标准如下： 编号 1 2 管理项目 电阻率 微粒数（0.2?m以上） 失格界限 15M?.cm以下 500个/ml以上 若供水水质超出以上标准，即判定供水水质失格。
当现场巡视或SCADA监视发现终端供水水质失格时，应立即通知各部相关人员；并同时进行紧急处理。 终端系统水质失格及解决方法如下表： 编号 1 失格项目 电阻率失格 原因 处理方法 判定为未失格 判定为未失格 备注 抛光混床树脂恶化 更换树脂 电阻仪故障 UF短路 粒子仪故障 仪器校正，修理 UF膜更换 仪器校正，修理 2
粒子数失格 4.3排水水质超标的紧急处理：
4.3.1 当最终排放水在线检测值超过点检基准值时： 点检基准值如下：
在线检测仪器编号 pHIA－2105 XIA－2106 pH值 TOC 6.3～8.7 ＜24mg/l 检测项目 点检基准值 编制部门：设备设施部 3 发布日期：2011年4月20日
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XIA－2107 4.3.2 紧急处理
NH4 ＜10mg/l 1）当最终排放水出口的指标超出排放标准时，超标排放水自动打回到紧急槽。
2）关闭紧急槽输送泵，超标水等待重新处理，紧急槽的容量约有2小时的处理水量。
3）在此期间，当班人员尽快联系相关负责人，对造成不合格指标原因进行
分析。
4）通过调整运行参数，使处理水达标，通过调整紧急槽输送泵出口阀，启
动输送泵，将打入到紧急槽的非达标排水重新处理，达标后排放。 5）如果处理时间较长，不得不将排水超标排放，翻班人员应将超标排放的
时间，超标的指标，水量，以及发现超标后的处理等情况 ，进行记录并上报相关管理部门。
4.4 药品供给系统重大故障的紧急处理： 4.4.1 药品200L桶更换出现错误时的处理：
1）立即中断供给阀门，中断药液供给，防止情况进一步恶化。
2）检查设备受到污染的情况。如污染只限于混合系统，则紧急联系原料供给厂商使用备用刻蚀液进行供给。
3）如生产设备已经受到污染，则联系厂家进行设备及管路清洗。 4.4.2 药品管道及设备破裂造成药品泄漏时的处理： 参照药品输送系统相关安全管理制度进行操作
4.4.3 混合系统滴定仪异常停止，且无法于短时间内恢复时的处理：
由于滴定仪故障造成药品供给质量无法保证，紧急联系原料供给厂商使用备
用刻蚀液进行供给。 4.4.4 供给系统泵故障
如泵故障无法使用，切换至备泵。具体操作见相关系统操作说明 4.5 造排水系统化学药品泄漏的紧急处理 4.5.1相关、引用文件
盐酸HCl，硫酸 H2SO4，PAC，氯化铵NH4Cl，碱NaOH，磷酸H3PO4，亚硫酸氢钠NaHSO3，次氯酸钠NaClO3，kurita－B，kurita－EC503，阴阳离子高分子絮凝剂和甲醇等。[MSDS]
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4.5.2 防护用具
1）防护手套； 2）防护口罩； 3）防护服； 4）护目镜； 5）防护鞋； 6）呼吸防护用具； 7）防护头盔等等。
4.5.3 溅到人体上时的处理措施：
本措施为一般的应急处理，不同的药品采取的具体措施可详见MSDS。
? 溅入眼睛时：立即用流水冲洗15分钟以上，必要时接受医生的处理。 ? 接触皮肤时：立即把接触部位用大量的水冲洗。
立即脱掉被污染的衣服，并用大量的水冲洗。 如果仍有炎症、疼痛等情况，接受医生的处理。
? 吸入时：立即转移到空气新鲜的地方，并注意保持安静和体温，必
要时接受医生的处理。
? 饮入时：立即用水漱口和咽喉，并喝4～5杯牛奶、蛋清、琼脂液或
水，然后立即接受医生的处理。
注意：EC-503(品名KURITA K-5030)接触到皮肤，需接受医生处理时，告知接触了“异噻唑系药品”。当医生不明白本药剂的处理方法时，在患部涂抹“付肾皮质激素软膏 4.5.4 泄漏时的处理措施：
1）接收化学药品过程中如果发生泄漏，应立即关闭槽罐的出药阀，停止注药。
2）一般的，发生泄漏时应先处理泄露到外边的化学药品。 3）泄漏较少时，一般采取用大量的水冲洗的方法。 4）泄漏较多时
①HCL 、H2SO4、NaOH 、H2O2等。用泥沙等阻流、吸附，或引到安全的地方用大量的水冲洗。必要时中和后用大量的水冲洗。
②PAC、NaHSO3等。尽量回收到空容器中；对不能回收的部分用消石灰、碳酸钙等中和。
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