SrTiO3薄膜材料的高分辨率X射线衍射分析研究

SrTiO3薄膜材料的高分辨率X射线衍射分析研究

姬洪;左长明;何士明;熊杰;李言荣

【期刊名称】《功能材料》 【年(卷),期】2004(035)0z1

【摘要】本文应用高分辨X射线衍射(HRXRD+TAXRD)技术对外延生长的SrTiO3膜进行了分析,获得了有关该薄膜的晶体取向、衬底的结构特性以及弛豫态的点阵常数等信息,对今后改进SrTiO3系列样品生长工艺有重要的意义. 【总页数】3页(3311-3313)

【关键词】高分辨X射线衍射;外延生长;弛豫态的点阵常数 【作者】姬洪;左长明;何士明;熊杰;李言荣

【作者单位】电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054;电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054;电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054;电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054;电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054 【正文语种】中文 【中图分类】TN304.21 【相关文献】

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