3D-NAND堆叠式结构的样品开封方法

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利说明

（21）申请号 CN201611116599.0 （22）申请日 2016.12.07

（71）申请人 武汉新芯集成电路制造有限公司

地址 430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号

（10）申请公布号 CN106653621B

（43）申请公布日 2019.05.31

书

（72）发明人 刘君芳;仝金雨;李桂花;郭伟

（74）专利代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人 屈蘅

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

3D-NAND堆叠式结构的样品开封方法

（57）摘要

本发明提供了一种3D?NAND堆叠式结构的

样品开封方法，先将样品放入第一发烟硝酸中加热至去掉外壳；再利用加热台对去掉外壳的样品进行加热，将样品之间的有机物进行碳化，变得疏松多孔；最后将碳化后的样品放入第二发烟硝酸中并进行加热，快速反应掉碳化物，这样对样品不会造成损伤，可以将样品完整开封出来，大大降低煮酸时间，提高了效率。

法律状态

法律状态公告日

2017-05-10 2017-05-10 2017-06-06 2017-06-06 2019-05-31

公开 公开

法律状态信息

公开 公开

法律状态

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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