㈩ 镜片摆放环境和搬运过程中避免油污、水汽（磨边、超声波清洗）污染。
11 工作环境改造成洁净车间
12 将镀膜机作业面板和主机隔开，减少主机产生的有害物质污染镜片。 四/1、灰点脏
现象：镜片膜层表面或内部有一些点子（不是膜料点）有些可以擦除，有的不能擦除。并且会有点状脱膜产生。 产生原因：
1、真空室脏，在开始抽真空时的空气涡流将真空室底板、护板的脏灰带到镜片上，形成灰点层。（膜内，不能擦除，会有点状脱膜）
2、镜圈或碟片脏，有浮点灰尘，在离子束作用下附着到了镜片上形成灰点层。（膜内，不能擦除，会有点状脱膜） 3、镜片上伞时就有灰尘点，上伞时没有检查挑选。（膜内，不能擦除，会有点状脱膜）
4、镀制完成后的环境污染是膜外灰点的主要成因，特别是当镜片热的时候，更容易吸附灰尘，而且难以擦除。（膜外）
1、 真空室充气口环境脏、开始充气量过大、充气过滤器脏，充气时镜片温度过高也是造成镜片膜外灰尘点不良的原因。（膜外）
2、 作业员人为带来的灰尘污染（膜内膜外）
3、 工作环境中灰尘过多
改善思路：杜绝灰尘源 改善对策：
1． 工作环境改造洁净车间，严格按洁净车间规范实施。 2． 尽可能做好环境卫生。尽量利用洁净工作台。 3． 真空室周期打扫，保持清洁。 四/2、膜外白雾
现象：镀膜完成后，表面有一些淡淡的白雾，用丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。用氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻，（又称：可擦拭压克）
分析：膜外白雾的成因较为复杂，可能的成因有：
① 膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙； ② 蒸发角过大，膜结构粗糙。 ③ 温差：镜片出罩时内外温差过大 ④ 潮气；镜片出罩后摆放环境的潮气 ⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时水汽过重 ⑥ 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀 ⑦ 膜与膜之间的应力
改善思路：膜外白雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，一是把膜做的致密光滑些不容易吸附，二是改善环境减少吸附的对象。 改善对策：
㈠ 改善膜系，外层加二氧化硅，使膜表面光滑，不易吸附。改善镜片出罩时的环境（干燥、清洁）
㈡ 降低出罩时的镜片温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应力。
㈢ 改善充氧（加大），改善膜结构。 ㈣ 适当降低蒸发速率，改善柱状结构 ㈤ 离子辅助镀膜，改善膜结构
㈥ 加上polycold解冻时的小充气阀（其功能是及时带走水汽） ㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发角。 ㈧ 改善基片表面粗糙度。
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 四/3、膜内白雾
白雾形成在膜内，无法用擦拭方法祛除。 可能的成因：
① 基片脏，附着前工程的残留物 ② 镜片表面腐蚀污染
③ 膜料与膜料之间、膜料与基片之间的匹配。 ④ 氧化物充氧不够。
⑤ 第一层氧化锆膜料，可能对某些基片产生白晕现象 ⑥ 基片进罩前（洗净后）受潮气污染 ⑦ 洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹 ⑧ 真空室脏、水气过重
⑨ 环境湿度大
改善思路：基片本身的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本身最大的可能是膜料匹配问题。 改善对策：
㈠改进膜系，第一层不用氧化锆。
㈡尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备工作。
㈢真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤一下，更换的护板等真空室部件必须干燥、干净。 ㈣改善环境
㈤妥善保护进罩前在伞片上的镜片，免受污染。 ㈥改善洗净、擦拭效果。
㈦改善膜匹配（考虑第一层用Al2O3） ㈧改善膜充氧和蒸发速率（降低）
㈨加快前工程的流程。前工程对已加工光面的保护加强。
㈩抛光加工完成的光面，必须立即清洁干净，不能有抛光粉或其他杂质附着干结。 五、色斑
色斑（也称膜色压克、烧蚀）是指镜片上的膜色局部变异（一般不规则）。有膜内色斑（含膜层色斑）和膜外色斑二种。
有时会出现规则的局部区域（如凹镜片的中心或环状区域等）膜色变异。
色斑产生的原因：
局部折射率变异：所谓膜色是薄膜光谱特性的反映，薄膜光谱分光特性的设计和达成是建立在一定折射率基片的基础上，如果基片局部折射率改变，那么所镀的膜层在局部的光谱分光特性也有变化。局部点的膜色就会有变异，形成膜内色斑的。
镀膜中和镀膜后由于种种原因，使得膜层的局部折射率变异，形成膜层或膜外色斑。
膜外色斑一般较浅，可以用抛光粉或碳酸钙分擦掉，如果是中间层或底层膜层局部折射率变异的膜层色斑，就不能用抛光粉或碳酸钙粉擦拭去掉了。
分辨膜内膜层和膜外色斑的一个有效手段是用抛光粉或碳酸钙粉擦拭。
膜内、膜层、膜外色斑的处理对策是不同的。 膜内色斑产生来源：
基片上局部折射率改变大都是由于基片局部被腐蚀造成的。腐蚀层一般形成一层极薄的低折射率层。
1． 前道加工过程中工装夹具、加工方法带来的。
这个局部可能大，也可能小，还可能大部，由此可能会有大小不等的色斑。这种色斑有一个特征，色斑的形状规则、部位一致、界线分明。
2． 周转、运输、库存产生。
镀膜产品常见不良分析
